產品功能
● 可編程,最多 50 個程序
● 最多可同時噴涂 4 個晶基板
● 適用于重復工藝的快速啟動功能
● 觸摸屏面板控制,方便用戶程序配置
● 工藝參數:噴嘴行進路徑,噴灑臂速度,噴灑時間,錐形束形狀電氣驅動的噴灑臂,其在 X 或 Y 軸方向上的速度可選
● 可調整的噴嘴,具有恒定的噴灑壓力和自動的清潔功能
● 用于計量壓縮空氣和檢查真空度的指示元件
● 手動裝卸基板
性能參數
● 噴灑臂的速度和定位精度: 0.4 m/s,±0.1 mm
● 每個分段的噴灑時間:最長為 9999 秒,調節步幅為 0.1 秒
● 噴灑循環的數目:最多 20 個曲回循環
● 環境溫度:+4 至 +60°C
● 圓形或方形基板
● 適用 300 mm 的晶圓或 12×12 英寸的基板