GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發鍍膜儀 科晶
產品簡介:GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發鍍膜儀可設定程序,并精確控制溫度200ºC-1500ºC(或者1200ºC-1700ºC),可蒸鍍直徑2"的薄膜樣品,樣品臺可旋轉,以獲得更均勻的薄膜。可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜,廣泛用于電極的制備和有機物發光LED。產品型號 | GSL-1700X-SPC-2小型程序控溫蒸發鍍膜儀 |
主要特點 | 1、已通過CE認證。 2、采用石英腔體,易于清潔和樣品的放入。 3、樣品臺可旋轉,能夠使所制薄膜達到更好的均勻性。 4、采用鎢絲作為發熱源,溫度可達到1700℃,并配有專用的氧化鋁舟裝載樣品(僅1600ºC以下使用,若蒸 發溫度大于1600ºC,樣品應直接放在鎢絲籃中)。 5、熱電偶安裝在坩堝底部,以便于溫度測量和控制。 6、可將設備轉換到手動調節狀態,內部不安裝熱電偶,直接采用手動調節輸出電流大小,發熱源溫度可達 2000ºC,可達到對樣品鍍碳等實驗要求。 7、可向真空腔體中通入惰性氣體,對腔體進行清洗,也可通入反應氣體,進行反應蒸發鍍膜。 8、進氣口配有針閥,用于調節進氣流量。 |
技術參數 | 1、電壓:AC 208V-220V 50Hz/60Hz 單相 2、功率:500W,電流為30A 3、真空腔體:石英腔體,直徑Ø6" 4、樣品臺:直徑Ø50mm;可旋轉,轉速5rpm;與蒸發源間距可調,調節范圍60mm-100mm 5、溫度:1700ºC 6、熱電偶:S型熱偶,工作溫度200ºC-1500ºC(可選用B型熱偶,工作溫度1200ºC-1700ºC) 7、控溫精度:±1ºC,數顯溫度控制器,可設置30段升降溫程序 8、鎢絲籃:2個 9、真空接口:KF40 10、真空計:數顯防腐真空計PCG554,測量范圍3.8×10-5-1125torr 11、進氣接口:1/4NPS |
產品規格 | 尺寸:440mm×330mm×630mm |
可選配件 | 1、機械泵(帶油污過濾器)(真空度<>-2torr,可以蒸發貴金屬,如Au、Ag) 2、分子泵(可獲得高真空,真空度<>-5torr,蒸發易氧化材料,如Al、Mg、Li等) 3、低真空系統 4、高真空系統 5、等離子清洗機(鍍膜前對基片進行清洗,可獲得更好的薄膜強度) |