- 高達 5kV,高達 2000A 的大功率測試
- 精確的微電流測量(分辨率 250fA)
- 12.1英寸大觸摸屏
- 多種GATE信號輸出功能
- 廣泛的溫度特性測量選項
- 使用探針進行高功率晶圓測試
- 與 SiC 和 GaN 器件兼容
- 與晶圓和低功率設備兼容
- 兼容大功率設備
- 支持微小電流測量
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CS-8000 系列半導體曲線示蹤儀是所有過程表征的理想選擇,具有多種單元的組合,并與下一代半導體測量兼容。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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CS-8000系列主要規格 | ||||
主機型號名稱 | CS-8020 | CS-8200 | CS-8500 | |
高壓機組 | ||||
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峰值電壓(電流) | ― | 2kV (20mA) | 5kV (8mA) | |
測量電壓范圍(滿刻度) | ― | 2kV 至 50V | 5kV 至 50V | |
測量電流范圍 | ― | 20mA 至 50uA | 20mA 至 50uA | |
最小測量電流分辨率 | ― | 250 毫安 | 250 毫安 | |
波形 | ― | 直流/脈沖 | 直流/脈沖 | |
中壓單位 | ||||
峰值電壓(電流) | 200V (1A) | |||
測量電壓范圍(滿刻度) | 200V 至 200mV | |||
測量電流范圍 | 2A 至 5nA | |||
最小測量電流分辨率 | 250 毫安 | |||
波形 | DC (200 mA)、脈沖 (2 A)、SIN、半波、全波 | |||
門單元 | ||||
峰值電壓(電流) | 40V (1A) | |||
測量電壓范圍(滿刻度) | 50V 至 1V | |||
測量電流范圍 | 1A 至 5nA | |||
最小測量電流分辨率 | 250 毫安 | |||
波形 | 直流/脈沖/正弦波 (50 赫茲) | |||
標準配件 | 電源線、控制接口端接器、使用說明書(小冊子+CD) |
HC 單元型號名稱 CS-205 CS-210 CS-220 峰值電流(電壓) 500A (50V) 1,000A (50V) 2,000A (50V) 測量電壓范圍(滿刻度) 50V 至 200mV 50V 至 200mV 50V 至 200mV 測量電流范圍 500A至5A 1,000A 至 5A 2,000A 至 5A 波形 脈沖
(10 μs 至 1 ms 寬度) 脈沖
(10 μs 至 500 μs 寬度) 脈沖
(寬度 10 μs 至 500 μs) 標準配件 電源線、HC-FIXTURE連接裝置、使用說明書
* 使用 HC 裝置時,需要單獨的檢測電纜。
測試治具型號名稱 | CS-320MV(即將推出) | CS-322HV/HC |
標準配件 | 電源線、標準導線組(CS-005 7 件套)、使用說明書 | |
― | 高壓/高壓電纜 (2) |
*連接測試夾具時,需要單獨的電纜。
■ 電纜套件(連接測試夾具和 HC 單元時使用。) | ||
電纜組名稱 | 型號 | 產品名稱 |
CS-020 MV標準電纜組 (CS-320 的推薦設置) | CS-026 | 7 根三軸電纜 (L=1.0 m) |
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CS-027 | 1 條控制接口電纜 (L=1.0 m) | |
CS-028 | 1 聯鎖/感應電纜 (L=1.0 m) | |
CS-021 高壓標準電纜組 (CS-322 的推薦設置) | CS-025 | 2 根高壓電纜 (L=1.0 m) |
CS-026 | 7 根三軸電纜 (L=1.0 m) | |
CS-027 | 1 條控制接口電纜 (L=1.0 m) | |
CS-028 | 1 聯鎖/感應電纜 (L=1.0 m) | |
CS-022 HC 標準電纜套件 (HC 單元的推薦設置) | CS-027 | 1 條控制接口電纜 (L=1.0 m) |
CS-028 | 1 聯鎖/感應電纜 (L=1.0 m) |
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