UHP高純減壓器嚴格按照高潔凈技術要求生產、安裝和測試,所有工序均在Class 10/100/1000無塵室進行,確保產品不受污染。
結構特點:
•316L不銹鋼母體
•膜片式硬密封,泄漏率低
•可采用面板安裝和后座安裝
•壓力表標準連接:1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
•內部電解拋光
•高潔凈的組裝和包裝適用于高潔凈度的半導體行業
•使用壽命長
•99%氦氣測試
材質:
• 母體:316L
•閥座:PCTFE*, Vespel®
•膜片:316L
•上蓋:316
功能特性:
•流量:Cv=0.14
•母體泄漏率:2×10-8 atm cc/sec He
•閥座泄漏率:4×10-8 atm cc/sec He
•設計驗證壓力:額定壓力的150%
•設計爆破壓力:額定壓力的400%