產品介紹:
ArBlade 5000是日立離子研磨儀的高性能機型。
它實現了超高速截面研磨。
高效率截面加工功能,使電鏡截面觀察時樣品加工更簡單。
產品特點:
截面研磨速率高達1 mm/h*1!
新研發的PLUSII離子槍發射出高電流密度離子束,大幅提高*2了研磨速率。
*1 Si突出遮擋板邊緣100 µm,1個小時加工深度
*2 研磨速率是本公司產品(IM4000PLUS:2014生產)的2倍
截面研磨結果對比
(樣品:自動鉛筆芯、研磨時間:1.5小時)
截面研磨寬度可達8 mm!
使用廣域截面研磨樣品座,加工寬度可達8 mm,十分適用于電子元件等的研磨。
復合型研磨儀
全新的復合型(截面研磨、平面研磨)離子研磨儀。
可根據需求對樣品進行前處理。
產品規格:
通用 | |
使用氣體 | Ar(氬)氣 |
加速電壓 | 0~8 kV |
截面研磨 | |
研磨速率(材料Si) | 1 mm/hr*1以上含 1 mm/hr*1 |
研磨寬度 | 8 mm*2 |
樣品尺寸 | 20(W) × 12(D) × 7(H) mm |
樣品移動范圍 | X ±7 mm、Y 0~+3 mm |
離子束間歇加工功能 | 標準配置 |
擺動角度 | ±15°、±30°、±40° |
平面研磨 | |
加工范圍 | φ32 mm |
樣品尺寸 | φ50 × 25(H) mm |
樣品移動范圍 | X 0~+5 mm |
離子束間歇加工功能 | 標準配置 |
旋轉速度 | 1 r/m、25 r/m |
傾斜角度 | 0~90° |
*1 Si突出遮擋板邊緣100 µm,1個小時加工深度
*2 使用廣域截面研磨樣品座時
選配
項目 | 內容 |
高耐磨遮擋板 | 耐磨遮擋板是標準遮擋板的2倍左右(不含鈷) |
加工監測用顯微鏡 | 放大倍率 15×~100× 雙目型、三目型(可加裝CCD) |