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NX20-300半導體原子力顯微鏡

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公司名稱智信科儀（北京）科技有限公司
品牌
型號
所在地北京市
廠商性質其他
更新時間2024/6/28 17:40:57
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公司介紹主營產品

智信科儀（北京）科技有限公司 Wis-Tru Technology (BeiJing) Co., Limited，成立于2015年，是一家致力于科研儀器、教學設備、實驗耗材整合服務及銷售的一體化公司。公司內部主要的管理人員都是從事本行業多年，積累了大量招投標、設備采購、耗材采購等項目管理經驗的優秀人員。公司自成立至今，已與諸多用戶達成了合作意向和合作協議，并依托于的產品質量、良好的合作關系、專業的服務隊伍以及穩固的業內基礎，在業內迅速獲得了良好的口碑，未來公司的發展方向將會朝著可提供解決方案的團隊而發展。目前我公司已與多家國內外企業達成合作意向和合作協議，代理的品牌包括韓國PARK、芬蘭Biolin Scientific AB、美國貝克曼庫爾特、美國Thermo Fisher公司、美國NANOVEA公司、英國Ceramisis公司、瑞士Nanosurf公司、美國Filmetrics公司、日本KEYENCE公司、瑞士KISTLER公司、荷蘭Phenom公司、美國SEIKOWAVE公司、中國臺灣ARDIC公司、英國雷尼紹公司、韓國DUKSAN公司、上海阿拉丁生化科技股份有限公司、國藥集團化學試劑有限公司、北京化學試劑廠、天津市津騰實驗設備有限公司等等，服務范圍涵蓋高校、科研院所、機械、冶金、電力、石化、地質等行業。

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產品簡介在線詢價

產品簡介　　(1）可用于300mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具

NX20-300半導體原子力顯微鏡產品信息

　　產品簡介

　　(1）可用于 300mm晶片圓測量和分析的自動化納米測量工具。

　　Park NX20 300mm是業界大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機動化。新升級的Park NX20系統專為失效分析和質量控制實驗室設計，可有效地檢測整個300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺，但Park的創新性振動隔離技術仍然能夠將系統噪聲保持在低于0.5 (?) RMS，通常是0.3 ? RMS的水平。經檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調整的需求，并使Park NX20的掃描過程盡可能高效和便于使用。通過我們的“批處理模式(Program Mode)”界面，用戶可以在整個300mmx300mm區域輕松實現可靠與可重復的順序多站點測量。NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的。

　　(2）專為大樣品晶圓檢測而建

　　NX20 300 mm進行了全新設計，可達到大樣品的測量。整個300mm晶圓區域可進行低噪聲原子力顯微鏡測量分析。這開啟了一個全新的自動化測量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡便、更精確地開展工作。

　　(3）靈活的300mm樣品吸盤

　　Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、形狀和類型的晶圓，讓用戶幾乎可準確掃描任何樣品。

　　(4）300mm XY軸工作臺

　　機動化的300mm XY軸工作臺允許用戶在300mm的全部區域內移動原子力顯微鏡的測量位置。

　　(5）NX20 支持300mm樣品臺，性能已被證實

　　因其的易用性和自動化以及不受影響的精度，NX20已是FA、QA和QC工程師的優先選擇。憑借其支持300mm電動XY軸工作臺的擴大平臺，NX20 300mm更上一層樓，允許用戶輕松地以的精度檢測更大的樣品。

　　(6）在完整300mm晶圓上掃描多個位點

　　SmartScan™允許用戶從位點到位點和樣品到樣品的層面上，借助基于網格和晶圓的模式，進行自動順序測量與表面形態、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時的用戶便利性和生產效率。

　　(7）強大的工作創建功能

　　格式創建流程簡單，允許工程師設置每個批次的位置、名稱、數量和類型所定義的預設。

　　(8）針對廣泛應用性進行優化

　　NX20 300mm為眾多應用提供自動格式的原子力顯微鏡測量，為納米級的樣品提供高級測量和分析。具有粗糙度、高度和深度測量，缺陷檢查，電氣和磁故障分析，熱性能表征和納米力學性能成像等能力，該原子力顯微鏡是檢測大樣品的FA、QA和QC工程師執行各種任務的理想選擇。

　　產品技術特色

　　(1）采用非接觸式工作模式：PARK公司是目前一家真正實現非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測量精度的前提下，可實現樣品與針尖的非接觸測量，避免了由于針尖磨損帶來測量重復性差與探針磨損快的缺點。

　　下圖是測量CrN樣品的實例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結構，采用非接觸模式測量100幅圖后，圖像質量幾乎無變化，針尖幾乎無磨損！！！

　　(2）探測器噪聲水平為業界：0.02nm。Z軸探測器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術改進之一,它是Park的新型應變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲，它一躍成為行業內噪聲的Z軸探測器,檢測原子臺階及其容易。

　　(3）采用高性能平板掃描器：采用技術得三軸分離的平板掃描器，在整個80μm的掃描范圍內誤差＜1nm !!!!

　　(4）操作極其簡單：

　　- 具有“智能掃描模式”Smart scan：這是PARK公司的技術之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統即可自動調整反饋,無需尋找共振峰,無需調整反饋參數gain值

　　- 具有中文，英文等多種操作界面

　　- 憑借著我們的預準直懸臂架，懸臂在裝載時激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業無二）讓您可以輕松地找到激光光點。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕，將激光光點隨著X軸和Y軸移動。這樣，您可以在激光準直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時，您只需要稍作調整實現信號的，便可開始獲取數據。