儀器特點
WeiMi01BG白光干涉測量模組,白光干涉儀,廣泛應用于消費電子類、半導體封裝、超精密加工(機械、光學)、微納材料等各大領域精密零部件之重點部位的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸等檢測,如智能電子產品的玻璃外殼、超光滑薄片(如home鍵里的薄片、手機攝像頭里面的薄片)等產品檢測。高品質激光檢測儀,實現納米級精度測量!
■ 白光干涉和多角度共路照明相結合,照明和成像光線方向一致。創新算法和高度勻速位移臺的匹配,實現連續3D成像。
■ 使用進口130萬像素相機和GPU優化算法,實現大數據量實時運算。
■ 選配高精度壓電陶瓷,可在高度方向實現納米級精度測量。
■ 高度集成化模組,便于多種場景的視覺系統集成。
■ 產品可用于高度、表面角度、平面度、厚度、體積、顏色相近表面區分等場景的測量。
產品參數
儀器型號 | WeiMi01BG | ||
橫向分辨率 | 1280x1024 | 外觀尺寸(mm) | 280x166x84.5 |
橫向最小分辨率 | 6um*6um | 高度分辨率 | 0.5um |
高度重復精度 | 1.5um | 模組自帶量程 | 12mm (可通過外加位移臺拓展) |
視場區城 | 7.5mm*6.0mm | 重量 | 3.6Kg |
工作距離 | 58mm | 數據接口 | USB 3.0 |
電源 | AC 220V 50HZ | ||
測量速度 (高度方向掃描速度) | (222x p)um/s@分辨率pum 如222um/s@分辨率1um、444um/s@分辨率2um |