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固定工作距離三維測振儀
可變工作距離的三維測振儀
單點激光測振儀只測量測點法向方向的位移。但很多場合，測點的振動不局限于單個方向，而是兩個或三個方向的復合振動。這個時候需要采用三維激光測振儀，采用三臺激光頭，三束激光成一定幾何角度對測試點對焦和測量，然后采用固化軟件或數據采集軟件對相互耦合的三個測量量進行解耦，得到該點的X/Y/Z方向的分量。
三維激光測振儀有兩種型號：
1)固定工作距離三維測振儀：VSM-3D
描 述 | VSM-3D | VSM-3D-EXT |
量程 (峰-峰) | 10mm | 10mm (0-50KHZ) 4um (20KHZ-10MHZ) |
測量速度值 | 2 m/s | 40 m/s |
輸出的型號類型 | -X, Y, Z 模擬電壓輸出（BNC輸出） -跟蹤信號（3.5mm小接頭） - 光學信號（模擬量）） | -X, Y, Z 模擬電壓輸出（BNC輸出） -跟蹤信號（3.5mm小接頭） - 光學信號（模擬量）） |
位移靈敏度 | 0.5 V/mm | 0.5 V/mm |
分辨率 | Noise-limited | Noise-limited |
噪聲指標 | 0.02 nm/ÖHz (DC to 50 kHz) | 0.02 nm/ÖHz (DC to 50 kHz) |
精度 | 1% | 1% |
光斑尺寸 | 100 μm | 100 μm |
測量表面 | 散射和背反射 | 散射和背反射 |
工作距離 | · 15-25 cm | · 15-25 cm |
激光功率和波長 | · Pout < 1 mW @ 650 nm (平行) | · Pout < 1 mW @ 650 nm (平行) |
· Pout < 15 mW @ 1310 nm (聚焦) | · Pout < 15 mW @ 1310 nm (聚焦) | |
激光等級 | · Class 2 @ 650 nm (可見) (不可見光) | · Class 2 @ 650 nm (可見) (不可見光) |
激光頭尺寸 | 155 mm x 145 mm x 80 mm | 155 mm x 145 mm x 80 mm |
控制單元尺寸 | 24.6 cm x 15.5 cm x 29.6 cm | 24.6 cm x 15.5 cm x 29.6 cm |
信號電纜 | 2 m (5 m 可選) | 2 m (5 m 可選) |
供電 | · 110-120 VAC / 60 Hz · 220-240 VAC / 50 Hz | · 110-120 VAC / 60 Hz · 220-240 VAC / 50 Hz |
耗電 | < 15 W | < 15 W |
I/O通訊 | 以太 | 以太 |
激光頭重量 | 6 kg | 6 kg |
操作溫度范圍 | 激光頭: 0°C to +80°C 控制單元: | 激光頭: 0°C to +80°C 控制單元: |
注意：
1）以上各型號的頻率帶寬是可以定制的，帶寬可到35MHZ。EXT表示頻率拓展到10MHZ,及10MHZ以上，需要在EXT后面加上數字，如EXT20M,EXT35M。
2)可變工作距離的三維測振儀:VSM4000-3D
可選擇三臺任何工作距離的單點激光測振儀安裝于一支架上。三束激光手動測點對焦，再采用X/Y/Z解耦裝置對其解耦，得到該點的三方向X/Y/Z的振動量。
3）以上型號的測量激光的波長是可以根據客戶的實際需求選擇。
