Bronkhorst氣體質量流量計FG-110C用于質譜
氣體流量測控
Bronkhorst氣體質量流量計和控制器,精度高、重復性好、響應快速。
熱式原理 和 科里奧利原理,種類齊全,可選量程寬。可為實驗室、設備、工業和危險區域的應用提供多種標準和定
制儀器。
量程范圍 從 0.014 mln/min 到 11000 m3n/h (等量N2)。小流量科里奧利質量流量計和流量控制器不受流體特性影響,
既可用于氣體,也可以用于液體。
EL-FLOW PRESTIGE
EL-FLOW Prestige 作為Bronkhorst新一代熱式氣體質量流量計/控制器,在通用性和用戶操作方便性方面具有
突破性的變革與創新。
創新的信號處理技術
穩定的流量控制,受過程波動的影響低
創新型控制閥設計
一個產品即可預置多種氣體曲線并根據需要設定量程范圍
顯著降低能耗
可實現多種通訊方式及客戶定制的I/O功能
最小流量: 0.014…0.7 ml/min
最大流量: 2…100 l/min
特點
高精度 (standard 0.5% Rd plus 0.1% FS)
量程比高達1:150
迅速的動態響應
多氣體/多量程功能(可選100種氣體;量程可在40%-120%進行拓展,也可直接訂制量程范圍(FS值)
耐壓能力10/64/100bar
模擬I/O信號,RS232連接;可選現場總線通訊
多種可選的用戶自定義I/O配置
用戶可編程的控制特性
堅固的金屬外殼
安全性 IEC 61010-1
應用領域
大學及研發機構,研發設備
分析/環保設備
食品、化工、石化等行業的氣體流量監控
氣體計量系統中的氣體消耗監測
氣體泄漏檢測系統
半導體制造業
表面處理設備
測量/控制系統
精度(包括線性) ±0.5%
重復性 < ± 0.04%
量程比 1:150;
設定時間(控制) < 500 ms
運行溫度 -10…70°C
溫度敏感性< 0.02%
壓力敏感性 < 0.15%
集成壓力傳感器精度 (PI選項) ± 0.25%
泄漏率 < 2 x 10-9 mbar l/s
預熱時間 30 min.
電源 +15…24 Vdc
量程范圍 0.014…0.7 ml/min -0.18…9 ml/min
壓力等級 100 bar
Bronkhorst氣體質量流量計FG-110C用于質譜