落地式結構,一體化多層防震結構
3000系列推出的系列機臺,外觀更加美觀大氣,抗振效果更佳。
搭載溫度傳感器
儀器搭載了溫度傳感器,軟件界面實時顯示外界溫度,可監控儀器在不同溫度狀態下的精度表現。
大量程高精度輪廓傳感器
輪廓測量·高精度傳感器
指示精度:≤±(0.6+|0.1H|)μm
自主研發寬范圍粗糙度傳感器
粗糙度測量·高分辨率傳感器
指示精度:≤±(5nm+2.5%)
粗糙度測量·高分辨率傳感器
指示精度:≤±(5nm+2.5%)
技術參數 | ||||
規格號 | 型號 | |||
CBE2000系列 | CBP2000系列 | CBE1000系列 | CBP1000系列 | |
X向量程 | 100-200mm可選 | |||
Z向量程 | 320-620mm可選 | |||
Z1向量程 | 0~±20mm可選 | |||
輪廓傳感器線性精度 | ≤(0.3+0.07%f.s.)μm | ≤±(0.6+5|H|/100)μm | ≤(0.5+0.12%f.s.)μm | ≤±(1.3+|6H|)μm |
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