在線熱偶真空計

在線熱偶真空計

在線熱偶真空計

真空規應用場合：本真空規應用于工業應用、科研院所、半導體行業需要測量粗低真空的場合：一般真空壓力測量。前級管道和粗低真空壓力測量。氣體回填測量和控制。質譜儀控制。啟動高真空電離規。系統過程控制。檢測異常壓力，利用繼電器設提供系統安|全措施 控制系統壓力。PVD、CVD氣相沉積鍍膜硅單晶生長

技術指標:
測量范圍： 100kPa～0.1Pa
測量精度：100KP～500Pa: 5%-3-500P～1Pa: 10%<1Pa: 20%
工作電壓： 12-24VDC
功率： <1.5瓦
控制觸點（可選組件）：2組 TTL級
通訊方式（可選組件）：RS485
模擬輸出（可選組件）：隔離輸出 4～20mA。

真空測量系統      真空測量系統      真空測量系統      真空測量系統      真空測量系統      真空測量系統      真空測量系統      真空測量系統

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