NTC WAFER 熱電偶晶圓測溫系統

NTC WAFER 熱電偶晶圓測溫系統 

TC Wafer晶圓測溫系統主要利用熱電偶或熱電阻等高精度溫度傳感器來測量晶圓表面的溫度。當晶圓表面溫度發生變化時，傳感器會產生相應的電信號，這些信號經過數據采集模塊處理后，由軟件控制系統進行顯示、存儲和分析。系統還能夠根據需要進行溫度校準和補償，以提高測量的準確性和可靠性。

智測電子TC-WAFER晶圓測溫系統還具備監控半導體設備控溫過程中晶圓發生的溫度變化的功能，確保了制造過程的穩定性。特別適用于半導體制造廠Fab、PVD/CVD 部門、RTP部門等場合，讓您能夠實時了解晶圓的溫度情況，提高生產效率，降低不良品率。

我們的產品不僅具備出色的性能，還具有簡潔易用的操作界面，方便您快速上手。我們的研發團隊將持續改進產品性能和功能，以滿足不同客戶的需求，確保您擁有zuixianjin的技術支持。

讓您不再為晶圓溫度的監測而煩惱，讓您的生產過程更加穩定高效。現在就讓智測電子TC-WAFER晶圓測溫系統為您的半導體制造過程帶來**性的變化吧！

高低溫晶圓探針臺需要確保

1） 溫度的均勻穩定性；為晶圓測試提供精確的溫度環境，既反應探針臺機械的穩定性，又是影響測試數據真實結果的關鍵；

2） 升降溫速率；探針臺的升降溫速率也是一項重要的指標。低溫測試時，避免空氣中的水蒸氣在樣品上凝結成露水，從而避免漏電過大或探針無法接觸電極而使測試失敗。同時，在真空環境中，傳熱的方式作用下，能更有效的提高制冷效率。高溫測試時，在真空環境下，也能有效減少樣品氧化，從而避免樣品電性誤差、物理和機械上的形變。

智測電子TC-WAFER晶圓測溫系統應用于高低溫晶圓探針臺，測量精度可達mk級別，可以多區測量晶圓特定位置的溫度真實值，也可以精準描繪晶圓整體的溫度分布情況，還可以監控半導體設備控溫過程中晶圓發生的溫度變化，了解升溫、降溫以及恒溫過程中設備的有效性。

智測電子還提供整個實驗室過程的有線溫度計量，保證溫度傳感器的長期測量精度。

合肥智測電子致力于高精度溫測、溫控設備的生產和研發定制，為半導體設備提供可靠的國產解決方案。

NTC WAFER 熱電偶晶圓測溫系統