技術參數:
雙倒置磁控管設計
量程: 1×10-7 ~一個大氣壓
精度: 1×10-6~1×1Pa 30%讀數
1 ~1×104 Pa 15%讀數
104 ~105 Pa 50%讀數
重復性精度:±5%讀數
工作溫度:5~55℃
烘烤溫度:150℃
模擬輸出:0-10.5V
供電:14.5~30V
單位mbar,Torr可選
安裝方向:任意
應用:
1)基本壓力監視和控制,在蒸發和濺射
鍍膜應用中從大氣壓到高真空。
2)一般真空測量 – 工業爐、建筑玻璃、
半導體、冰箱和空調。
3)分析和研發應用 – 質譜分析、
電子顯微鏡、醫療、眼科、光學和
高能物理