ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列316L

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產品特色

● 數字化產品

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力

● 可選高精度：優于0.5%

● 可測范圍廣， 1~99%

● 響應時間快，優于100 ms

● 內置130種常規及腐蝕性氣體

● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

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技術指標

介質要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質種類    內置了130種氣體，請參考氣體兼容表

                  一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）

測量和控制范圍    1～99%

顯示流量    128 %滿量程

可控流量    102.4 %滿量程

顯  示  屏    帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）

                  ±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程）（可選）,僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設備

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復  性    ± 0.2 %滿量程

零點漂移 & 滿量程漂移    0.02% 滿量程 / ℃ /  Atm

響應時間    優于100 ms

預熱時間    ＜ 1 s

標定工況    25 ℃ & 1 Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫至100℃）

溫度精度    ± 0.75℃

工作濕度    0  ～ 99%，無冷凝

工作壓力    1 MPa 表壓

操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@19200波特率；

                         模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加±0.1%量程誤差

供電電壓    7 - 30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）

供電電流    250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）；額外加 40 mA（ 4–20 mA ）

電氣接口    DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

材       質    316L不銹鋼、303不銹鋼、430FRSS、FFKM（Kalrez），可根據特殊氣體選用Viton、EPDM、Buna、Neoprene

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢

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選項配件

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