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特點
1) 高精度質量流量控制器，優于1 %的精度。
2) 高效的混氣裝置和的防吸附管路設計，適用于易吸附、易反應化合物的稀釋配氣。
3) 寬動態范圍（常規稀釋倍數1:1~1:10000）；可擴展。
4) 超快速氣體流量控制（穩定時間＜100 ms）。
5) 預熱時間≤5min。
6) 配置靈活。 標氣單路最多可切換 4種氣體。
7) 具有存儲功能，可存儲30個校準點。具備序列校準功能，可存儲30種校準序列。
8) 具備定時功能，儀器自動啟動序列校準。
9) 具備Ethernet、RS485、RS232接口，可遠程控制儀器工作。
10) 儀器具備自動清洗功能，能夠自動進行管路清洗。
技術指標
基本參數 | ||||
型號 | B600 | B600S | ||
稀釋系統 | 稀釋原理 | 質量流量控制器（MFC）/ 動態稀釋法 | ||
流量精度 | ±0.8%設定點（流量＞30% FS） ±0.5%FS（流量≤30% FS） | ± 0.6% RD或± 0.1% FS （取值） | ||
流量重復性 | ±0.2% FS | ±0.2% FS | ||
稀釋比 | 1:1~1:1000（可定制） | 1:1~1:10000（可定制） | ||
響應時間 | ≤600ms | ≤100ms | ||
預熱時間 | ≤5min | ≤1min | ||
稀釋氣流量范圍 | 0~10SLPM | |||
可選范圍 | 0~5 SLPM / 0~20 SLPM（其他量程） | |||
標準氣流量范圍 | 0~100 SCCM | |||
可選范圍 | 0~50 SCCM / 0~200 SCCM / 0~500 SCCM（其他量程） | |||
管路材質 | 316L不銹鋼/PFA/PTFE | |||
標氣輸入端口 | 4 | |||
稀釋氣輸入端口 | 1 | |||
校準氣輸出端口 | 1 | |||
廢氣輸出端口 | 1 | |||
電氣指標 | 供電要求 | 200~240V，50/60HZ | ||
工作功率 | ≤50W | |||
通信指標 | 通信接口 | 1×Ethernet：10/100Base-T 1×RS485 1×USB 2×RS232 | ||
通信協議 | Modbus-RTU（RS232和RS485） | |||
物理指標 | 工作溫度范圍 | 0~50℃ | -10~60℃ | |
工作濕度范圍 | 20~90%RH（無冷凝） | |||
存儲溫度 | -20~85℃ | |||
尺寸 | 560×482×133mm（長×寬×高）（含把手） | |||
重量 | 15kg | |||
注1：標氣流量、稀釋氣流量、校準氣體輸出流量范圍、稀釋比、機箱尺寸可根據用戶要求定制。
注2：產品具體的稀釋比范圍與輸出流量范圍有關，詳細請咨詢廠家。
注3：提供的數據僅供參考，如有變更，恕不另外通知。
尺寸詳圖
