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本體
| 復式接頭 | 空氣 | 0 ～ 10 L/min | D6F-10A5-000 |
| 0 ～ 20 L/min | D6F-20A5-000 | ||
| 0 ～ 50 L/min | D6F-50A5-000 |
附件(另售)
| 電纜 | D6F-CABLE1 |
額定值/性能
| 型號 | |||
|---|---|---|---|
| 流量范圍 *1 | 0 ～ 10 L/min | 0 ～ 20 L/min | 0 ～ 50 L/min. |
| 適用范圍 *2 | 空氣 | ||
| 接頭形狀 | 復式接頭 | ||
| 端子規格 | 3端子連接器 | ||
| 電源電壓 | DC10.8 ～ 26.4 V | ||
| 消耗電流 | 無負載Vcc = DC12 ～ 24 V, 25°C 15 mA以下 | ||
| 輸出信號 | DC1 到 5 V (非線性輸出，負載電阻10kΩ) | ||
| 精度 | ±3% FS (25°C 特性) | ||
| 可重復性 *3 | ±0.3% FS | ||
| 輸出電壓 | DC5.7 V (負載電阻: 10 kΩ) | ||
| 輸出電壓 | DC0 V (負載電阻: 10 kΩ) | ||
| 額定值電源電壓 | DC26.4 V | ||
| 額定值輸出電壓 | DC6 V | ||
| 外殼材質 | PPS/鋁合金 | ||
| 保護構造 | IEC IP40 (配管部除外) | ||
| 耐壓 | 500 kPa | ||
| 壓力損失 *3 | 0.8 kPa | 2.9 kPa | 17.2 kPa |
| 操作環境溫度 *4 | -10 ～ 60°C | ||
| 操作環境濕度 *4 | 35% ～ 85% | ||
| 保存環境溫度 *4 | -40 ～ 80°C | ||
| 保存環境濕度 *4 | 35% ～ 85% | ||
| 溫度的影響 | 環境溫度 -10 ～ 60°C 時， 25°C 的特性±3% FS | ||
| 絕緣電阻 | 傳感器外壁與導線端子間: 20 MΩ 以上. (DC500V絕緣電阻) | ||
| 耐電壓 | 傳感器外壁與導線端子間AC500V 50/60HZ以上 1分鐘（漏電流1mA以下） | ||
| 重量 | 103 g | ||
注: 1. 表示0°C, 1氣壓下的體積流量
注: 2. 干燥不含灰塵油質的干凈氣體
注: 3. 參考值 (代表值)
注: 4. 無結冰凝露
連接
| D6F-10A5-000 D6F-20A5-000 D6F-50A5-000 |
| Pin : Vcc 2: Vout 3: GND 連接器 G53398-03**（日本molex（株）產） 請使用下述連接器連接本產品。 基座 51021-0300 （日本molex（株）產） 終端 50079 （日本molex（株）產） 電線 AWG28 to AWG26 |
| (單位 :mm) MEMS 流量傳感器 D6F-10A5-000 D6F-20A5-000 D6F-50A5-000 | |
| 安裝孔加工尺寸 | |
使用注意事項:
關于傳感器的使用用途
D6F是以常規機器中的使用為目的而制造。尤其是在用于下列對安全性有要求的用途時，應采取失效安全設計、冗余設計并實施定期檢查等，在確保系統與設備整體的安全性的前提下使用。
?以人體保護為目的的安全裝置
?運輸設備的控制（行駛停止用途等）
?航空航天設備
?核能設備等
不可將D6F用于其動作直接關乎人命的用途。
?以人體保護為目的的安全裝置
?運輸設備的控制（行駛停止用途等）
?航空航天設備
?核能設備等
不可將D6F用于其動作直接關乎人命的用途。
關于流體和配管安裝、傳感器安裝
共通（1）請使用清潔的流體。灰、霧可能會導致特性變化和故障，應在配管上游側設置濾網、油霧分離器。（D6F-W、D6F-V、D6F-P、D6F-PH除外）
（2）適用流體以外的可燃性氣體（氫氣等）、腐蝕性氣體（氯氣、硫、酸、堿等）是導致故障的原因，請勿使用。
（3）對于適用流體以外的流體，不屬于性能保證范圍。
（4）配管內異物混入是導致故障的原因，從包裝袋內取出后，應防止異物進入配管內。
（5）配管安裝時，請使流體沿本體上標示的箭頭的方向流入。配管錯誤的狀態下無法正確測量。（D6F-V/-P/-PH除外）
（6）配管建議采取水平的安裝方向。 安裝方向不水平時，可能會出現±1％F.S.以上的誤差。（D6F-A3除外）
（7）傳感器應安裝在平面上。未正確安裝時，可能會導致故障或無法正確測量。
（8）應在設備電源切斷的狀態下進行傳感器的設置。如果在電源接通的狀態下進行作業，可能會造成觸電和誤動作等。
（9）傳感器安裝后務必實施動作確認。
（10）請避免傳感器掉落或拆卸蓋板等。
（2）適用流體以外的可燃性氣體（氫氣等）、腐蝕性氣體（氯氣、硫、酸、堿等）是導致故障的原因，請勿使用。
（3）對于適用流體以外的流體，不屬于性能保證范圍。
（4）配管內異物混入是導致故障的原因，從包裝袋內取出后，應防止異物進入配管內。
（5）配管安裝時，請使流體沿本體上標示的箭頭的方向流入。配管錯誤的狀態下無法正確測量。（D6F-V/-P/-PH除外）
（6）配管建議采取水平的安裝方向。 安裝方向不水平時，可能會出現±1％F.S.以上的誤差。（D6F-A3除外）
（7）傳感器應安裝在平面上。未正確安裝時，可能會導致故障或無法正確測量。
（8）應在設備電源切斷的狀態下進行傳感器的設置。如果在電源接通的狀態下進行作業，可能會造成觸電和誤動作等。
（9）傳感器安裝后務必實施動作確認。
（10）請避免傳感器掉落或拆卸蓋板等。
D6F-A5
(1) 安裝傳感器時，請使用M3盤頭螺釘，緊固扭距應為0.59N·m以下。
(2) 將流體導入/導出部用密封圈進行密封安裝。推薦密封圈（JIS B 2401 規格編號 P5）
(2) 將流體導入/導出部用密封圈進行密封安裝。推薦密封圈（JIS B 2401 規格編號 P5）
關于使用環境
關于使用環境，請避免在下述環境下使用。
·直接受到加熱器熱輻射的場所
·有水、油的場所
·日光直射的場所
·有塵埃、腐蝕性氣體、可燃性氣體的場所
·溫度變化劇烈的場所
·有可能結冰結露的場所
·受很大振動、沖擊影響的場所
·直接受到加熱器熱輻射的場所
·有水、油的場所
·日光直射的場所
·有塵埃、腐蝕性氣體、可燃性氣體的場所
·溫度變化劇烈的場所
·有可能結冰結露的場所
·受很大振動、沖擊影響的場所
關于抗干擾對策
由于干擾也可能導致無法進行正確的測定。使用時應該就以下事情進行考慮。
·盡可能的遠離產生強烈高頻的設備（高頻焊接機、高頻縫紉機等）及產生沖擊電波的設備。
·針對產生干擾波的外圍設備（特別是：電動機、變壓器、螺線管線圈、電磁線圈等帶有電感成分的東西）應采取浪涌吸收器、噪聲過濾器等抗干擾對策。
（將配管、管道分離，使用屏蔽線等也是有效的方法之一）。
·盡可能的遠離產生強烈高頻的設備（高頻焊接機、高頻縫紉機等）及產生沖擊電波的設備。
·針對產生干擾波的外圍設備（特別是：電動機、變壓器、螺線管線圈、電磁線圈等帶有電感成分的東西）應采取浪涌吸收器、噪聲過濾器等抗干擾對策。
（將配管、管道分離，使用屏蔽線等也是有效的方法之一）。
關于電源
·請用20N以下的力插入連接至本產品的連接器端子。在鋪設電線時，請注意避免對連接器施加超出電線彎曲張力的力。另外，在插拔連接器時，請將電線統一固定，與嵌合軸進行同軸插入，拉拔角度控制在15°以內。
·與連接器連接端子直接焊接的話可能成為故障的原因，因此請選用適合的連接器。（除D6F-PH外）
·請按照端子名稱及極性進行正確布線。錯誤的布線可能導致內部元件的故障。
·使用市場銷售的開關調節器時，請將FG（Frame Ground端子）及G（Ground端子）接地。
·與連接器連接端子直接焊接的話可能成為故障的原因，因此請選用適合的連接器。（除D6F-PH外）
·請按照端子名稱及極性進行正確布線。錯誤的布線可能導致內部元件的故障。
·使用市場銷售的開關調節器時，請將FG（Frame Ground端子）及G（Ground端子）接地。
關于使用
本產品為精密設備，掉落或過度沖擊、施加外力均會引起故障或特性變化，因此請避免掉落、分解或對端子部施加過大的力。掉落的產品請勿使用。
·請在妥善管理的靜電放電保護區域內使用本產品。
·請在妥善管理的靜電放電保護區域內使用本產品。
關于RoHS指令
根據RoHS規定表示不含有6種廢止使用物質的產品（包括工程內及搭載基板的電子部件），在包裝上標有RoHS標志。
※ 由于供應商的原因，如果把已經作為符合RoHS的零部件判定為
不符合RoHS的產品時，不得已會將標志取消。
※ 由于供應商的原因，如果把已經作為符合RoHS的零部件判定為
不符合RoHS的產品時，不得已會將標志取消。
符合RoHS的判定標準
6種物質的適用判定標準如下所述。
（不適用RoHS指令的項目除外）
·鉛 ： 1000ppm 以下
·水銀 ： 1000ppm 以下
·鎘 ： 100ppm 以下
·六價鉻 ： 1000ppm 以下
·PBB ： 1000ppm 以下
·PBDE ： 1000ppm 以下
（不適用RoHS指令的項目除外）
·鉛 ： 1000ppm 以下
·水銀 ： 1000ppm 以下
·鎘 ： 100ppm 以下
·六價鉻 ： 1000ppm 以下
·PBB ： 1000ppm 以下
·PBDE ： 1000ppm 以下
