半導體、晶圓、硅片外延部件單片清洗機

菏澤力芯電子科技有限公司設計生產 半導體清洗設備、CDS系統、電化學鍍設備各種石英存儲柜、閥箱、花籃、閥門、泵、接頭PFA焊接機等。

半導體清洗設備：包含手動/自動/半自動槽式清洗機、全自動去膠機、自動混酸蝕刻機、單片清洗機等等 ，可根據客戶需求定制產品

外延部件清洗這是一款用于半導體制造過程中的EPI（Epitaxial）外延部件清洗的設備，主要用于在晶圓上進行薄膜沉積的預鍍工藝。隨著半導體行業的快速發展，對EPI外延清洗機的需求也在不斷增長。市場上存在多種類型的EPI外延清洗機，以滿足不同工藝需求。大家可以選擇適合自己的，當然也歡迎咨詢，為你需求量身定做。

技術特點：

現代EPI外延清洗機通常采用高度自動化的設計，能夠實現精確控制和遠程監控，提高操作效率和安全性。同時，該設備設計有排風系統和漏液檢測系統，便于維護，提高了設備的安全性和可靠性。

應用領域：

EPI外延清洗機廣泛應用于半導體制造領域，特別是在晶圓級預燒、磁性退火、黏晶固化、穩定性測試、熱沖擊處理等工藝中，對EPI外延部件的清洗要求很高。