安捷倫真空測量設備

一、真空規

（1）531和536型熱偶真空規：適合于連續和準確地測量壓力為1 x 10-3 torr 至2.0 torr 的真空度,二者均對安裝取向沒有選擇性，而且對壓力變化響應快速。

（2）熱傳導真空規：能夠準確測量真空度，也特別適合那些需要快速、重復性地從大氣抽空的應用領域。熱傳導規管不同于常規的對流型規管，系統振動不會對它產生影響。可靠的設計使其能夠在0。C 至50。C的范圍內準確地讀數。

（3）525型冷陰極真空規：測量的真空度范圍為 1X10-8 至1X10-2 torr，其測量值準確度高、重復性好、可靠性高。由于沒有易燒毀的燈絲，突然暴露大氣不會對該規造成任何的損壞。525 規在結構上和倒磁控管真空規類似，因此它可以在非常低的真空度下啟動，而常規的冷陰極規在此壓力下推測則難以啟動。

（4）熱陰極電離真空規：有多個系列可供不同用戶選擇。下面以563標準量程熱陰極電離真空計為例來說明。563 型真空計在較大的量程范圍（2X10-10 torr 至1X10-3 torr）內表現出色。玻璃腔內壁鍍鉑，能夠屏蔽掉低真空下靜電對真空計內部零件的損壞，也可以分流掉隨時壓力升高積累起來的靜電荷。為了延長燈絲的壽命，563型真空計使用鍍釷的銥燈絲。同樣可以提供參考真空規，小于5X10-6 torr 下密封，用于測試真空規。

（5）倒磁控管真空真空規：不僅能夠提供準確而高重復性地真空度數，而且能夠應用于惡劣及腐蝕性的環境。真空測量上的性能和 BA 規相近，但清理和維修如同普通冷陰極規一樣簡單，卻沒有其他普通冷陰極規在使用中的局限性。它的這些特點使其尤其適合于諸如真空爐等工業系統中 --在這些環境中，耐久性是最重要的指標。適用于超高真空的IMG 倒磁控真空計可測量非常低的真空度，且能夠在低至 10-11 torr 的壓力下啟動。同時，即使還連接著電纜，適用于 UHV 的IMG 真空計也能夠耐受非常高的烘烤溫度。

（6）CT-100型Active低真空規：可以測量1X10-4 torr至大氣壓的范圍。0.2 秒的快速響應和出眾的測量精度，使其成為替換皮拉尼真空計的理想選擇。它具有兩個以上可以由用戶設置兩個設定點 （set point），當壓力達到設定壓力的時候，它可以輸出觸發信號。每一組提示信號包含一個電子輸出信號以及LED燈的不斷閃動。

（7）Eyesys ConvecTorrTM 型Active低真空規：是一個結構緊湊且經濟可靠的壓力測試裝置。它在1mTorr 到大氣壓的范圍內對壓力快速響應，壓力觸發點可以用數字開關選擇（避免模擬調節帶來的信號水平不穩），在5 mtorr 至 500 torr范圍內共有16 個水平可以設置。Eyesys ConvecTorr 規的另一個顯著優點是其可以自動校準。所有組件均裝在一個緊湊的盒中，包括真空傳感器和所有的控制電路，因此省去了控制器。

（8）Eyesys Mini-BA Active高真空規：是Eyesys ConvecTorrTM 規的高真空版本。Eyesys Mini-BA 的壓力測試范圍為10 mtorr 至2X10-9 torr，它可以通過模擬或數字信號遠程操作。輸出的壓力信號可通過不同的選件讀取，既可以通過LED 直接顯示，亦可以為與壓力對應得電壓模擬信號，或RS-232 /RS-458 串行數據接口。除此之外，使用者可以設置兩個SPST參考點以作為過程控制之用。電子流除氣為標準功能。

（9）Eyesys Mini-IMG Active高真空規：該系統是基于倒磁控管高真空測量真空計的成熟技術，可以可靠地工作于10-3 torr 至10-9 torr 的使用環境。由于所有的組件均集成在一個裝置內，無需另配置外部控制器。它既可將與壓力對應得電壓模擬輸出信號接到計算機或PLC系統即可。

二、真空計

（1）801型真空計：801 型真空計工作穩定而再現性好，主要用于1X10-3 torr 至2 torr 的低真空熱偶規測量。該款結構緊湊、重量輕盈,同時配備10英尺長的真空規線纜、6英尺長的電源線纜，以及表頭面板上三個用于固定的柱頭螺栓。用戶可以單獨選購瓦里安的531和536 型熱偶真空規用于801型真空計。801型真空計的顯示為模擬信號顯示，面板刻度涵蓋主要的真空范圍。該控制器同時還可以提供一個模擬輸出接口用于在其它設備上記錄真空數據。

（2）XGS-600真空計：全新