安捷倫公司設計的TPS 渦輪分子泵系統
其配備 Agilent TwisTorr渦輪分子泵,并以安捷倫渦輪式干泵或旋片泵為前級,使其具有即插即用的特性,并退出了適用于小至中等體型的輕型干式臺式解決方案或者高容量、大抽速范圍的推車版本。
TPS 迷你型:便攜的干式系統具有極小的占地面積,采用新型的 TwisTorr 74 FS;
TPS 緊湊型:TwisTorr 304 FS,高真空性能,極短的抽真空時間、集成式IDP-3渦旋式干泵;
TPS 移動型:可移動推車、大容積系統、大抽速范圍;
TPS-flexy 組合型:可自行安裝、靈活且可以升級的解決方案。
主要特點
◆ 靈活:提供各種真空計、閥和組件;
◆ 緊湊而便攜:占用面積小、重量輕;
◆ 簡便易用,即插即用;
◆ 高性價比的解決方案;
◆ 通用的功率配置和安全標準;
◆ 技術、應用和客戶服務支持;
◆ 提供高級更換、升級和維修計劃;
◆ 干式版本:無烴污染,無油泄露。