V10FC-L差壓式低量程MFC/MFM

產品特點

普通低壓型，適于1Mpa或3Mpa以下非腐蝕性清潔氣體

無熱漂移，可以忽略的溫移和時漂，長期穩定性0.1%F.S/年

準確度1%，量程可在100：1范圍內按鍵設定，無需標定

瞬時和累計流量、壓力、溫度可同時顯示和輸出

無需預熱，測量時無響應滯后

內置30種氣體轉換系數，無比熱容附加誤差，不影響精度

自動累計，分段累計功能

V10FC-L采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出；曖昧流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID調節功能。

與熱式流量計不同，當使用氣體轉換系數時，V10FC-L沒有附加的“比熱容”誤差。所以，即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同，也不會影響測量精度。

通過選配顯示器和鍵盤可以使V10FC具有手操器/顯示儀/積算儀的全部功能。通過面板操作，可以完成以下內容：氣體選擇、單位選擇、量程設定、報警點設定、閥門狀態、自動校準等。

產品應用

真空    鍍膜     太陽能     半導體     石油石化    煤炭冶金     制氣配氣    環保     各種分析儀器

技術參數

技術指標 V10FC-LC質量流量控制器 V10FC-LM質量流量計
量程范圍  5SCCM～5SLM 
測控范圍 控制器閥控范圍50:1 流量計量程比100:1
準 確 度 ±1.0%F.S
      壓力：0.5%F.S          溫度：±1℃
線    性 ±0.5%F.S
重復精度 ±0.2%F.S
響應時間 100ms 10ms
數 字 量 RS232/485，MODBUS協議
模 擬 量 0～5V、4～20mA、1～5V
供   電 ±15VDC,24VDC
工作溫度 0～50℃
工作壓力 工作壓差：0.05MPa～0.5MPa 工作壓差：<30KPa
耐壓 1MPa、3MPa
電氣連接 DB15孔
漏    率 1×10-9SCCSHe
溫度系數 ±0.015%F.S/℃
底座材質 316L
密封材料 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
接    頭 Φ3,Φ6,1/8",1/4"