數據可靠
系統實現了自動遠距離采樣、自動富集吸收、自動質量控制、自動分析、數據自動上傳全流程自動化。
避免人工誤差引入,數據準確可靠。
靈敏度高
大體積進樣濃縮,大幅提高系統檢測能力,檢出限可達亞ppt級,縮短系統運行周期。
監測面廣
單套系統最多可配置32個點位的樣品采集;
系統通過真空泵遠距離采樣,可覆蓋300m范圍內樣品的在線監測。
設計合規
系統管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設計,滿足SEMI F57中相關析出雜質的控制要求。
吸收高效
在線雙吸收模塊設計,有利于節約樣品分析時間,數據輸出更快更高效!