AEROTECH長行程升降臺

設計特點

支持 100 kg 的負載能力，行程可達 50 mm，峰值速度為 20 mm/s

由于高精度交叉滾子軸承，提供出色的直線度和角度性能

通過結合精密研磨的滾珠絲杠、無槽扭矩電機和低擴展線性編碼器，實現10 nm的步長

由于采用高可靠性驅動機構，使用壽命長

與 PRO-SL 和 PRO-LM 線性平臺無縫集成

提供 ThermoComp®，可在不斷變化的環境中實現一致的性能

關鍵應用

PRO-SV 平臺非常適合高度受限的應用或堆疊多個定位平臺的情況，包括：

同步加速器和光束線樣品操作

晶圓檢測

表面計量

激光微加工

精密制造

采用扁平封裝的長行程

與其他類型的垂直運動平臺不同，PRO-SV 具有直接撞擊移動滑架的驅動機構。這提供了超長的垂直行程范圍，并保持盡可能短的高度，從而可以自由、清晰地訪問用戶的有效載荷。在設計運動系統時，最小化工作點高度尤為重要，因為它可以大限度地減少阿貝偏移，從而有助于提高整體精度。

精確設計，實現優秀性能

通常與升降臺相關的一個主要問題是幾何性能不佳（即直線度、俯仰、滾動和偏航）。PRO-SV 為這個問題提供了一種創新的解決方案。在抗蠕變和交叉滾子軸承的引導下，移動滑架在各個方向上得到支撐，使 PRO-SV 成為市場上精確的商用升降舞臺。此外，無槽、無刷扭矩電機直接連接到大直徑、精密研磨的滾珠絲杠驅動機構，以極其平穩、無齒輪的運動定位最重的有效載荷。PRO-SV 沒有皮帶、齒輪和撓性聯軸器，因此具有很高的可靠性，并消除了上弦和過度反沖的誤差源。

設計和集成靈活性

PRO-SV 專為無縫集成到多軸載物臺平臺、運動系統和機器而設計。它直接安裝在 Aerotech 的 PRO-SL 和 PRO-LM 線性平移平臺上，并配有可選的附件桌面，可以將各種 Aerotech 旋轉平臺或其他工藝設備集成到該平臺上。直接耦合的旋轉編碼器反饋是標準配置，并且存在幾個可選的高分辨率線性編碼器，以便在使用雙回路反饋運行時提高精度和高帶寬。當有效載荷管理安全至關重要時，PRO-SV 可以配置絕dui線性編碼器和抱閘，以提供額外的保護，防止意外損壞。

使用 ThermoComp® 減少熱誤差

溫度變化和熱效應可能是精密機器中有害的誤差來源，螺桿傳動尤其容易受到影響。為了解決這個問題，PRO-SV 平臺配備了 Aerotech 的 ThermoComp® 功能，這是一種集成溫度補償解決方案，可在存在熱干擾的情況下提供準確可靠的定位性能。它可以保護載物臺免受變溫環境和摩擦引起的自熱的影響，最終為用戶的工藝提供穩定性，即使在惡劣的工業環境中也是如此。