SM5822/SM5872壓阻式壓力傳感器
SM5822和SM5872系列為硅微結構OEM壓力傳感器,結合了*的片上信號處理技術及的壓力傳感器加工技術生產的具有放大、充分校準、多階壓力修正和溫度補償貼片式SO-16封裝的高性能壓力傳感器。
采用CMOS數字信號處理器和用于存儲校準和補償數據的EEPROM存儲器。這有利于在工廠校準時把封裝壓力的影響也考慮在其中,也允許多級溫度和壓力補償,這比傳統做法能獲得更高精確度。
SM5822和SM5872系列壓力傳感器基于SMI高穩定性安裝在陶瓷基板上的壓阻式壓力芯片。
特點 應用
l 放大、校準和溫度補償高輸出跨度(0.5V至4.5V信號) l 數字溫度和校準壓力可通過I2C接口 l 輸出電壓與輸入電壓成比例 l 貼片式SO-16封裝易于使用 l 多級壓力、溫度非線性修正(工廠編程) l 表壓、差壓和絕壓高性能傳感器 | l 氣壓測量 l 科研 l 氣動控制 l 氣體流量 l 呼吸器和通風設備 l 暖氣、通風及空調 |
性能參數
所有參數在室溫25℃,5V直流恒壓源供電的條件下測量而得,除非另外規定。
| 絕壓、表壓和正差壓 | 差壓 | |||||
zui小值 | 典型值 | zui大值 | zui小值 | 典型值 | zui大值 | 單位 | |
零點輸出(絕壓和表壓) | 0.42 | 0.50 | 0.58 |
|
|
| V |
零點輸出(差壓) |
|
|
| 2.42 | 2.50 | 2.58 | V |
滿量程輸出 | 3.92 | 4.00 | 4.08 | 1.96 | 2.00 | 2.04 | V FS |
總誤差 |
|
| 1 |
|
| 1 | %FS |
響應時間 | 2 |
|
| 2 |
|
| ms |
供電電壓 | 4.75 | 5.00 | 5.25 | 4.75 | 5.00 | 5.25 | V |
耗電電流 |
|
| 10 |
|
| 10 | mA |
過壓 | >5X |
|
| >5X |
|
| %FS |
工作溫度 | -40 | 25 | +125 | -40 | 25 | +125 | ℃ |
補償溫度 | 0 | 25 | +70 | 0 | 25 | +70 | ℃ |
存儲溫度 | -55 | 25 | +135 | -55 | 25 | +135 | ℃ |
備注:
1、 只有SM5812系列才有絕壓類型
2、 壓力類型S(Pressure Type-S)有兩個接氣端口,用于高增益正差壓
3、 輸出與輸入電壓成正比
4、 滿量程是指零壓力與額定壓力之差,差壓可以使用±FS。絕壓和表壓零點輸出標準值為0.5V,滿量程輸出為4.5V,跨度有別于滿量程輸出和零點輸出。對于差壓壓力傳感器而言,負壓力的滿量程輸出標準值為0.5V,零點輸出標準值為2.5V;正壓力滿量程輸出標準值為4.5V ±2.0 V跨度輸出
5、 低于額定壓力(低于0)時飽和放大器輸出約為0.25V,高于額定滿量程壓力時飽和放大器輸出約為4.75V
6、 一個100nF的濾波電容必須放置于地與供電腳之間
7、 所測介質必須是清潔、干燥并與材質兼容,材質包括高硼硅玻璃、硅、氧化鋁陶瓷、環氧、RTV電子硅膠、黃金、鋁和鎳