離子濺射儀(非磁控)
離子濺射儀(非磁控)
簡介:
此款小型離子濺射儀主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導電膜(金膜),儀器操作簡單方便,是配合SEM 制樣的儀器。設備配有微量充氣閥調節工作真空,在 20Pa 真空保護。同時,配有進氣口和微量充氣調節裝置,以方便空氣或氬氣等工作氣體充入。
主要特點:
顯示操作面為60°斜面,充分考慮操作的便捷和視覺體驗,方便觀察操作;
真空泵連接管路為金屬波紋管,美觀耐用;
微調閥調節靈敏準確,帶有刻度標識;
真空泵抽速快,噪音低,適合實驗室使用;
技術參數:
1. 玻璃處理室:Φ108mm,高度135mm;
2.試樣臺尺寸:Φ40mm,可同時放6個樣品杯;
3.金靶尺寸:Φ57mm;
4.真空系統:直聯旋片真空泵2L/S;
5.真空檢測:定制皮氏計,配合真空指針表,靈敏;
6.真空保護:20pa配有微量充氣閥調節工作真空;
7.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣進氣口和微量充氣節;
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