ER系列是加入到ULVAC的PDR - C系列,SIN - LPCVD流行,金屬蝕刻和其他苛刻的進程產生升華物質。
ER系列過程中的應用等作為濺射,灰化,蝕刻需要耐腐蝕的。
ER系列是zui節能的保存在行業機型,采用直流無刷電機和優化每一個疏散階段的能力。
特點
消耗功率:高達58%,比以前的ULVAC公司模型低
消耗減少:可以操作與OSLM N 2吹掃
(清潔撤離應用)。
杰出的耐腐蝕性
應用
沒有一代的升華物質的化學氣相沉積和蝕刻
濺射和裝載/卸載商會
渦輪分子泵和其他輔助疏散泵