Aerotech氣浮轉臺，氣浮平臺

·         自1970年Aerotech開始研制zui高性能的運動控制產品和精密定位系統，這些產品廣泛應用于世界范圍內的工業制造、政府及自然科學研究等行業。Aerotech能夠為生命科學及醫學設備，半導體加工，光子學，數據存儲，激光應用，航空和國防，電子產品制造、測試及裝配等行業的研究和發展，以及其他需要高精度、高自動化水平的解決方案提供滿足市場應用苛刻要求的高性能精密運動控制產品。
Aerotech承諾始終如一的提高我們的產品性能和服務能力的附加價值，我們的座右銘是：Dedicated to the Science of Motion。
ABRT超精密轉臺
1專為硅片檢測，X射線衍射系統，光學檢測及制造和納米技術設備制造應用設計
2無刷無槽伺服電機直接驅動
3突出的速度穩定性，波動率低于萬分之一（電機無接頭效應）
4的運動性能,誤差小,無抖動
5直聯高精度旋轉編碼器
6扁平結構設計
7無機械接觸
臺面直徑100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
雙向重復定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
異步軸跳 <20nm
異步徑跳 <20nm
ARMS超精密模擬仿真轉臺
1. 為超高精度運動而設計。
2. 無刷力矩電機直接驅動，可選更高速度和力矩電機。
3. 突出的速度穩定性。
4. 的運動性能，誤差小，無抖動
5. 有效載荷達230 kg
6. 預裝有集流環
臺面直徑：146~260mm
反饋分辨率：0.02~4 arc sec
雙向重復定位精度 0.5 arc sec
定位精度         2.5 arc sec
速度波動率       0.0001%
ABRS超精密轉臺
ABRS氣浮軸承精密運動轉臺擁有一個低矮的外形輪廓，并且能夠提供出眾的角度定位精度，的速度穩定性以及極小的運動誤差。ABRS精密轉臺的設計應用于硅片檢測，高精度測量，激光衍射系統，光學檢測和制造以及納米制造技術。
特點:
1. 無刷無槽力矩電機直接驅動
2. 的速度穩定性（無齒槽效應）
3. 的運動性能，誤差小，無抖動
4. 直連式高精度圓光柵反饋
5. 扁平結構設計
6. 氣浮軸承，無機械接觸
臺面直徑：128~278mm
反饋分辨率：0.036~0.18 arc sec
雙向重復定位精度：<1arc sec
定位精度： 2 arc sec
異步軸跳： 20nm
異步徑跳： 20nm
ADR系列精密轉臺
ADR系列直接驅動轉臺提供精確的角度定位和速度控制。應用范圍包括高速激光加工和硅片精密檢測。
特點：
1. 無刷力矩電機直接驅動
2. 無齒槽設計提供的速度穩定性
3. 的運動性能，誤差小，無抖動
4. 直連式高精度圓光柵反饋
5. 高精度機械軸承支撐
6. zui大載荷可達150kg
臺面直徑：57~240mm
反饋分辨率：0.036~13 arc sec
雙向重復定位精度： 1arc sec
定位精度： 2 arc sec
軸跳： 0.5um
徑跳： 1um
AOM360D光電跟蹤轉臺
AOM360D*定位裝置能夠提供zui精確的方位角和仰角值。*級品質的電機，軸承和傳感器組合而成的機架裝置保證了整體的*性能。AOM360D被應用于使用傳感器和光學設備對方位角和仰角值進行自動檢測。其他應用包括方位校準，激光束指引，目標捕獲及跟蹤，照相機和光電望遠鏡的掃描和定位。
特點：
1. 所有軸均可360度旋轉
2. 超精確的定位精度和雙向重復定位精度
3. 超低的軸向擺動及正交性
4. 無刷無槽力矩電機直接驅動
5. 高精度圓光柵反饋
6. 無齒槽設計提供的速度穩定性
7. 熱穩定性好于0.4 arc sec/攝氏度
8. 負載直徑可達500mm，負載質量可達50kg
9. 可以用于真空環境
負載直徑193-485mm
負載質量  20~50kg
分辨率0.055arcsec
雙向重復定位精度1arcsec
定位精度 2 arc sec
方位角擺動  3 arc sec
仰角擺動    5 arc sec

Aerotech直驅機械軸承旋轉平臺

Aerotech ADRT直驅旋轉平臺

1.高扭矩輸出，直驅無刷伺服電機
2.無接頭設計，速度穩定性突出
3.突出的抖動和跳動性能
4.直聯高精度旋轉編碼器
5.寬大的通孔直徑
直徑 146 - 260 mm
精度 ±30 arc sec
負載 30 - 173 kg

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Aerotech ADRS直驅旋轉平臺

1.高扭矩輸出，直驅無刷伺服電機
2.無接頭無槽電機設計，速度穩定性突出
3.直聯高精度旋轉編碼器
4.超低的外形將工作高度減到zui小
直徑 95 - 190 mm
精度 6 arc sec
負載 16.9 - 56.2 lb

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Aerotech ARMS直驅旋轉平臺

1.設計來生成高精確運動
2.在全部360°范圍都能達到0.0001%速度穩定性
3.定位分辨率0.02角秒
4.有效負載230 kg
5.完整的導電環和不固定的旋轉管套節
6.可選直驅無刷電機以實現高轉速和高扭矩輸出
孔徑 8 mm - 25 mm
分辨率 0.02 - 2 arc sec
精度 ±2.5 arc sec

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AAerotech  LAR直驅旋轉平臺

1.5種不同的孔徑尺寸：100 mm, 150 mm, 200 mm, 250 mm, 325 mm
2.持續或有限的行程
3.300-1000 lb的高軸向負載能力
4.寬大的軸承能提供較高的有效負載和瞬間負載能力
5.的精度和重復定位精度
6.抖動和跳動小
7.無接頭電機提供平滑運動
8.無回差效應
9.精度不隨齒輪的磨損而改變
10.每分鐘45-300轉的持續轉速
11.有效負載必須在旋轉中心的應用的*選擇， AZ滾動萬向架應用的重要選擇
12.10-6 torr真空環境選項可選
zui大孔徑 325 mm
精度 ±3.9 arc sec
負載 6463 N

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Aerotech  ADR175/240直驅旋轉平臺

1.直驅無刷伺服電機
2.無接頭設計，速度穩定性突出
3.突出的抖動和跳動性能
4.直聯高精度旋轉編碼器
5.高精度角接觸軸承
直徑 175 mm
精度 ±5 arc sec
負載 25 kg
直徑 240 mm
精度 ±1 arc sec
負載 135 kg

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Aerotech  ADR160直驅旋轉平臺

1.直驅無刷伺服電機
2.無接頭設計，速度穩定性突出
3.突出的抖動和跳動性能
4.直聯高精度旋轉編碼器
5.高精度角接觸軸承
直徑 160 mm
精度 ±5 arc sec
負載 25 kg

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Aerotech ARA1000旋轉執行器

1.高負荷傳送能力
2.高剛性
3.直驅無刷無槽伺服電機
4.寬大的孔徑
5.配置AVL1000很容易實現多軸的應用
直徑 342.9 mm
精度 ±2 arc sec
負載 45 kg

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ADR75直驅旋轉平臺

1.直驅無刷伺服電機
2.無接頭設計，速度穩定性突出
3.突出的抖動和跳動性能
4.直聯高精度旋轉編碼器
5.高精度角接觸軸承
直徑 75 mm
精度 ±5 arc sec
負載 3 kg

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Aerotech  ASR1000直驅旋轉平臺

1.精度高,動態性能好
2.方便產品進給和通過的大孔徑
3.低慣量軸可以實現zui大的加速度
4.*化包裝設計使平臺重量zui小
5.直驅無刷伺服電機
6.直聯旋轉編碼器
7.高精度角接觸軸承
直徑 19 mm
精度 ±15 arc sec
負載 3.0 kg

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Aerotech  ASR1100直驅旋轉平臺

1.完整的氣動套爪卡盤
2.ER16夾頭接受0.5 mm to 10 mm外經的管
3.通孔適合產品進給和通過
4.有刻線的夾頭保持器能快速更換*
5.常閉夾頭配置
6.低慣量軸可以實現zui大的加速度
7.直驅無刷電機和編碼器
8.免維護,無摩擦旋轉連接
zui大孔徑 14 mm
精度 ±15 arc sec
負載 3 kg

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Aerotech  ASR1200直驅旋轉平臺

1.ER16夾頭可夾外經到到5.8 mm的管
2.集成的可更換O形圈的水套適合濕加工應用
3.通孔方便產品進給和通過
4.有刻線的夾頭保持器能快速更換*
5.低慣量軸可以實現zui大的加速度
6.直驅無刷電機和編碼器
7.免維護,無摩擦旋轉連接
zui大孔徑 5.8 mm
精度 ±15 arc sec
負載 3 kg

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Aerotech  ACS旋轉平臺

1.集成氣動ER夾頭和卡盤或3瓜卡盤.
2.通孔方便產品進給和通過
3.常閉或常開夾子選項
4.低慣量軸可以實現zui大的加速度
5.直驅無刷電機和編碼器
6.完整的旋轉連接
zui大孔徑 30 mm
精度 ±15 arc sec
負載 140 kg

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Aerotech  ACS LP系列旋轉平臺

1.完整的氣動ER套爪卡盤
2.通孔方便產品進給和通過
3.低慣量軸可以實現zui大的加速度
4.完整的旋轉連接
5.超低的外形將工作高度減到zui小
zui大孔徑 30 mm
精度 ±6 arc sec
負載 41 kg

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ADRH直驅旋轉平臺

1.低外形適合對空間敏感的應用場合
2.直驅無刷無槽伺服電機
3.直聯高精度旋轉編碼器
直徑 104.8 mm
分辨率 3.6 arc sec
zui大轉速 2500 rpm

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Aerotech   ANT-20RA 旋轉執行器

1.0.045角秒的分辨率
2.緊湊的結構設計
3.巨大的轉角范圍
4.非接觸直接驅動
5.高轉速和高分辨率
6.的定位穩定性
7.免維護
8.20度的行程轉角
精度 ±10 arc sec
負載 2.5 kg

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WaferMax T 旋轉平臺

1.低外形適合對空間敏感的應用場合
2.直驅無刷無槽伺服電機
3.直聯高精度旋轉編碼器
4.25毫米孔徑

Aerotech 2軸氣浮平臺

Aerotech  ABL1000氣浮平臺

1 專為高性能校準和裝配應用設計
2 分辨率達2nm的直線編碼器反饋
3 閉環分辨率可達1nm(使用A3200控制器)
4 全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
5 低噪音線性放大器
6 全部非接觸設計
行程 ≤150 mm
精度 ±0.20 um
重復定位精度 ±0.05 um
直線度 ±0.25 um
平面度 ±0.25 um

Aerotech  ABL3600氣浮平臺

1 專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測*應用設計
2 雙軸,大孔,開放式結構
3 非接觸直線編碼器反饋,精度高
4 雙直線電機驅動X Y 軸
5 所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
行程 ≤250 mm
精度 ±1 um
重復定位精度 ±0.20 um
直線度 ±0.50 um
平面度 ±1 um

Aerotech ABL8000氣浮平臺

1 專為有效負載大,負載重心偏離機架中心線的應用設計
2 十字交叉結構,剛性穩定性引人注目,幾何特性*
3 所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4 行程達1米
5 直線編碼器或激光干涉儀反饋
6 可集成包括花崗巖的XY子系統
行程 ≤1000 mm
精度 ±0.50 um
重復定位精度 ±0.20 um
直線度 ±0.40 um
平面度 ±0.40 um

Aerotech  ABL9000氣浮平臺

1 世上zui高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學檢測和加工等要求苛刻的場合
2 所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
3 行程達1.2米X1.2米
4 Y軸雙直線電機驅動
5 直線編碼器或激光干涉儀反饋
6 主動控制偏轉
行程 ≤1200 mm
精度 ±0.50 um
重復定位精度 ±0.10 um
直線度 ±0.50 um
平面度 ±0.50 um

Aerotech  AHL9000直線電機平臺

1 專為晶片檢測，平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計
2 掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承
3 行程達1.2米X1.2米
4 雙直線電機驅動步進軸
5 直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程 ≤350 mm
精度 ±1.0 um
重復定位精度 ±0.20 um
直線度 ±0.60 um
平面度 ±0.60 um

Aerotech  ABG10000氣浮平臺

1 氣浮導軌實現超平滑運動
2 所有軸都預加載荷
3 下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅動
3 行程達1 m x 1 m
4 非接觸直線編碼器(光柵)
5 可選Z 軸,隔振,機械底座和控制箱
6 適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．
Travel 行程 ≤1000 mm
Accuracy 精度 ±2.0 um
Load 負載 84 kg

Aerotech  FiberCouple 130平臺

1 同一條導軌上兩個運動平臺
2 獨立或并列運動
3 2.5nm分辨率
4 非接觸直線電機驅動
5 交鑰匙的配套驅動和控制系統
6 適合輔助軸

Aerotech VascuLathe ACS/ASR

1.直線平臺與旋轉平臺的高度集成化
2.ER筒夾系統使材料箝位自動化
3.可選夾緊裝置夾緊管
4 *的控制系統結構
5.單或雙主軸結構
6.可選擇濕切割
7.擁有兩項Patent No. 7,038,334 Patent No. 7,105,956

Aerotech LaserTurn

1.直線平臺與旋轉平臺的高度集成化
2.氣動3爪卡盤或ER筒夾
3.較大的通孔可以使產品通過
4.可選擇在前后加工的平臺
5.直接驅動直線和旋轉電機技術

Aerotech PlanarHD氣浮平臺

1 zui大2 m/s掃描速度和5g加速度的輸出
2 zui快的轉向和zui小的穩定時間
3 主動偏轉控制
4 直線光柵或激光干涉儀反饋
5 行程1.2 m x 1.2 m

行程 ≤12 00 mm
精度 ±300 nm
重復定位精度 ±50 nm
分辨率 0.25 nm

Aerotech APT 系列平轉和傾斜組合轉臺

1 滿足安全，國防建設和監測市場的需要
2 把*的高精密機械與業界的控制技術結合在一起
3 慣性穩定
4 包含內置滑環，可連續旋轉360 °
5 高定位精度和速度性能
6 易于安裝和系統集成的集成電路
7 低維護，高可靠性提供zui低的擁有成本
平轉： zui高速度180 ° /秒，持續360 °
傾斜： zui高速度180 ° /秒，范圍為± 95 °
位置分辨率：7.6弧秒
定位精度： 120弧秒
有效載荷： 35公斤

Aerotech AOM360D

1兩軸均360°連續旋轉

2軸定位精度和重復性高

3軸抖動小,正交性好

4直驅無刷伺服電機

5高精度感應反饋

6無嵌齒效應設計,突出的速度穩定性

7負載直徑達500毫米

8真空兼容機型可選

分辨率.27&micro;rad

孔徑范圍203.2mm-508.0mm

負載7.0kg-50.0kg