單軸超精密平臺（直線電機驅動）

直線伺服的超精密運動平臺主要特點

× 精密度高，可定制重復定位精度0.1um或更高精度的精密平臺

× 速度高，zui高速度可達到7m/s，*提高生產效率

× 潔凈度高，平臺運動無需絲杠、減速器等中間部件，無需采用相關維護保養措施，適用高潔凈要求環境

× 高剛性，加速性能好

× 動態響應快，執行機構與平臺之間無非線性機械部件，可獲得*動態響應

× 平臺零件少，組裝調試簡單，零維護

× 平臺運動平穩，運動速度從1um/s到7m/s均能適應，推力范圍從幾牛頓到幾萬牛頓可選

直線伺服的超精密運動平臺廣泛應用于半導體加工設備、激光加工設備、電子加工設備、精密機床設備、物流設備、機器人設備、分子篩等

zui大行程：50mm~1500mm

精度：0.1um~10um