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Colibrys MS9010系列是一個電容式MEMS加速度計，它是由一個立體微加工工藝支撐的硅元件，一個低功耗ASIC信號處理器和一個存儲補償值的微控制器以及一個溫度傳感器等元件組成。該產品是一個低功耗的、校準的、功能強大和性能穩定的產品，其電子配置中帶有一個電源重置以防止電壓不穩的全保護裝置。
| 應用范圍： | 特點： |
| · 振動測量 · 地震測量 · 機器人技術 · 碰撞檢測 · 數據記錄儀 · 鉆探 · 傾斜測量運輸 |
|
性能參數：
| 工 作 特 性 | 量程 | ±10 | g | |
| 封裝 | LCC20 | | ||
| 偏差標定 | <50 | mg | ||
| 48h偏差穩定性 [1] | 0.25 | mg | ||
| 年偏差穩定性[2] | 1.5 （<5） | mg | ||
| 上/掉電重復性 | <0.75 | mg | ||
| 偏差溫度系數[3] | 0.5 | mg/℃ | ||
| ±2 | mg/℃ | |||
| 比例因子，靈敏度（K1） | 200±2 | mV/g | ||
| 年比例因子穩定性 | 300 （< 1000） | ppm | ||
| 比例因子溫度系數 | 100 | ppm/℃ | ||
| -50 / 250 | （zui小/zui大值） | |||
| 輸入軸向誤差（Kp,Ko） | <10 | mrad（zui大值） | ||
| 1 | %（zui大值） | |||
| 分辨率/閾值 （@ 1Hz） | < 0.6 | mg（zui大值） | ||
| 非線性度 | <0.9 | % FS（zui大值） | ||
| <0.09 | g（zui大值） | |||
| 帶寬[4 ] | 0~≥100 | Hz | ||
| 白噪聲頻譜密度 | 18 | µV/ hz½ | ||
| 24 | zui大值 | |||
| 共振頻率 | 3.7 | kHz | ||
| 環 境 特 性 | 運行溫度 | | ||
| 極限溫度 | | |||
| 可靠性 | MIL-HDBK-217，等級二 | |||
| 抗沖擊 | | |||
| 恢復時間 | <1ms（ | |||
| 振動 | | |||
| LCC封裝 | 符合 MIL-STD-833-E | |||
| ESD靈敏度 | 二級（符合 MIL-STD-883-E，方法一3015.7） | |||
| 注： - LCC應牢固固定在 PCB上，使用封裝底部作為軸向對準的參考面。 | ||||
| 電 氣 特 性 | 輸入電壓（VDD_VSS） | 2.5~5.5 VDC.標定標準電壓為5.0VDC。 | ||
| 輸出電壓范圍 | 0.5~4.5 VDC @ 5.0 VDC輸入電壓（ | |||
| 運行電流消耗 | <400 µA @ 5.0 VDC | |||
| 初始化及復位電流消耗 | 1400 µA @ 5.0 VDC，初始化階段（室溫下小于35 ms） | |||
| 復位 | 本傳感器具有過電保護功能。當供電電源以 >380V/s的斜坡增大高于+0.46V時；或供電電源降至低于 2.2V時，傳感器自動重啟。恢復時間典型值為25ms（zui大值35ms）。 | |||
| 輸出電阻/負載 | zui低 10kΩ,在 Vout （pin 32）和 VAGND（pin 38）zui高 50pF,在 Vout（pin 32）；和zui大 100 µF，在 VAGND（pin 38） | |||
| 溫 度 特 性 | | 1.632 V | ||
| 靈敏度 | -11.77mV/℃ | |||
| *穩定性 | | |||
| 精度 | ± | |||
| 物理 特性 | 重量 | < | ||
| 尺寸 | 典型值：8.9×8.9× zui大值：9.2×9.2× | |||
| 除非另有說明，所有參數值在± | ||||
[1]：按照IEEE 1293-1998
[2]：1年穩定性根據IEEE 528-2001定義為：上電/上電，存儲于
[3]: 溫度系數指在-40~
[4]：帶寬定義為靈敏度降低小于3dB的頻率范圍。
