全量程皮拉尼熱陰極復合真空計

全量程皮拉尼熱陰極復合真空計（耐高溫150℃，CF35接口）型號:YZ2752-FS庫號：M322107

YZ 2752是熱陰極離子規復合皮拉尼熱傳導規的寬量程真空計，同時兼容傳統ZJ27離子規管與ZJ52熱阻規管。本機型采用雙路（或單路）數碼管顯示器，全部參數設置與儀器校準等操作通過前面板四個智*能按鍵完成。四路光隔離控制開關輸出、對數模擬電壓量輸出、遠程RS485通訊傳輸，以及可選的無線信號傳輸功能，為工業現場控制提供多種工具。數字濾波與模擬濾波、高保真信號傳輸、高壓信號光隔離、硬軟件溫度補償等技術的使用，使得YZ 2752在重復性、響應速度、抗干擾等方面有著突-出的優-點。本機型應用于真空鍍膜、半導體工藝、光伏晶體、科研教學等領域。

YZ2752規管組合方式

YZ2752所有組合插座都是兼容的一可插的，軟件自適應判斷規管種類并工作。

YZ2752-FS全量程單路測量

測量范圍：1.0E-5~1.0E+5Pa（大氣壓）

YZ2752-FD全量程與半量程雙路測量

全量程測量范圍：1.0E-5~1.0E+5Pa（大氣壓）

半量程測量范圍：1.0E-1~1.0E+5Pa（大氣壓）

YZ2752-GD熱離子規與熱阻雙路測量

熱阻規<3.0Pa時熱離子規燈絲自動啟動，保護熱陰極燈絲

離子規測量范圍：1.0E-5~1.0Pa

熱阻規測量范圍：1.0E-1~1.0E+5Pa（大氣壓）

技術參數

參數數值

測量范圍1.0×10-5~1.0×10+5 Pa(空氣，N2)

1.0×10-5~1.0×10-4 Pa:±35%

1.0×10-4~1.0×10+4 Pa:±25%

1.0×10+4~1.0×10+5 Pa:±50%

重復性

1.0×10-5~1.0×10+3 Pa:±5%

1.0×10+3~1.0×10+5 Pa:±25%

耐壓1.5×10+5 Pa

反應時間<100 ms

工作環境-5oC~+45oC；5~85%,不結露

存儲環境-40oC~+80oC；5~90%,不結露

信號輸出

雙行5位LED顯示，單位可選Pa、Torr、mBar，四路控制開關指

示

支持RS485，9600 bps，Modbus RTU（標配）

支持四（六）路控制開關輸出60VDC 0.5a（選配）

支持模擬量輸出+0.0V~+10.0VDC（選配）

支持離子規燈絲外部禁止（選配）

支持PC電腦上位機VAccuRay 3.0控制軟件數據采集

供電電源

85~265VAC，50~60Hz，0.5a電源；功耗max 35W；

品字插座（（EARTH端端子外部務必可靠接地！）

重量與尺寸

<1Kg(不含電纜與規管)，100H X 98W X170L mm 3

安裝開孔尺寸91+0.2 mm×91+0.2 mm