INFICON的 Pirani 標準真空計 PSG500 和 PSG502-S 代表封裝在堅固耐用小型管殼內(nèi)的的Pirani技術(shù).溫度補償提供快速與zui穩(wěn)定的真空測量并消除了對大氣壓強反應慢的問題. 堅固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導體系統(tǒng), 以及常規(guī)用途如前級真空管道中.
特點:
占空間小
任何方位安裝
不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件
*化的溫度補償
易于集成的對數(shù)訊號輸出
至10巴壓力的高過壓能力,用螺紋連接件
烘烤型在法蘭處可達到250 °C
易于更換的傳感單元
應用:
控制高真空電離真空計
前級真空壓強監(jiān)測
真空系統(tǒng)中的安全電路
在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測量與控制