全量程皮拉尼熱陰極復合真空計報價

全量程皮拉尼熱陰極復合真空計報價全量程皮拉尼熱陰極復合真空計報價 型號:YZ2752-FS庫號：M322107   

（耐高溫150℃，CF35接口）

YZ 2752 是熱陰極離子規復合皮拉尼熱傳導規的寬量程真空計，同時兼容傳統 ZJ27 離子規管與 ZJ52 熱阻規管。本機型采用雙路（或單路）數碼管顯示器，全部參數設置與儀器校準等操作通過前面板四個智*能按鍵完成。四路光隔離控制開關輸出、對數模擬電壓量輸出、遠程RS485 通訊傳輸，以及可選的無線信號傳輸功能，為工業現場控制提供多種工具。數字濾波與模擬濾波、高保真信號傳輸、高壓信號光隔離、硬軟件溫度補償等技術的使用， 使得 YZ 2752 在重復性、穩定性、響應速度、抗干擾等方面有著突-出的優-點。本機型應用于真空鍍膜、半導體工藝、光伏晶體、科研教學等領域。

YZ2752 規管組合方式

YZ2752 所有組合插座都是兼容的可插的，軟件自適應判斷規管種類并工作。

YZ2752-FS 全量程單路測量

測量范圍： 1.0E-5 ~ 1.0E+5Pa（大氣壓）

YZ2752-FD 全量程與半量程雙路測量

全量程測量范圍： 1.0E-5 ~ 1.0E+5Pa（大氣壓）

半量程測量范圍： 1.0E-1 ~ 1.0E+5Pa（大氣壓）

YZ2752-GD 熱離子規與熱阻雙路測量

熱阻規<3.0Pa 時熱離子規燈絲自動啟動，保護熱陰極燈絲

離子規測量范圍：1.0E-5 ~ 1.0Pa

熱阻規測量范圍：1.0E-1 ~ 1.0E+5Pa（大氣壓）

技術參數

參數 數值

測量范圍 1.0×10 -5 ~1.0×10 +5 Pa (空氣， N2)

精度

1.0×10 -5 ~1.0×10 - 4 Pa : ±35%

1.0×10 -4 ~1.0×10 +4 Pa : ±25%

1.0×10 +4 ~1.0×10 +5 Pa : ±50%

重復性

1.0×10 -5 ~1.0×10 +3 Pa : ±5%

1.0×10 +3 ~1.0×10 +5 Pa : ±25%

耐壓 1.5×10 +5 Pa

反應時間 < 100 ms

工作環境 -5o C ~ +45o C； 5 ~ 85 %, 不結露

存儲環境 -40o C ~ +80o C；5 ~ 90 %, 不結露

信號輸出

雙行5位LED顯示，單位可選Pa、Torr、mBar，四路控制開關指

示

支持 RS485， 9600 bps，Modbus RTU（標配）

支持四（六）路控制開關輸出 60VDC 0.5 （選配）

支持模擬量輸出+0.0V~+10.0VDC（選配）

支持離子規燈絲外部禁止（選配）

支持PC電腦上位機VAccuRay 3.0控制軟件數據采集

供電電源

85 ~ 265VAC，50 ~ 60Hz ，0.5電源；功耗max 35W；

品字插座（ （EARTH 端 端 子 外部務必可 靠接地！）

重量與尺寸

<1Kg (不含電纜與規管)， 100H X 98W X170L mm 3

安裝開孔尺寸 91 +0.2 mm × 91 +0.2 mm