美國API公司XD系列激光干涉儀

美國API公司XD系列激光干涉儀

技術綜述：

　　1D激光主要可以測量定位誤差

　　3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)

　　5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動角

美國API公司XD系列激光干涉儀

技術參數：

　　5D/6D標準型：

　　1. 線性：0.5ppm .

　　2. 測量范圍：40米(1D可選80米)

　　3. 線性分辨力：0.001um.

　　4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

　　5. 大范圍：800角秒

　　6. 滾動角精度：1.0角秒

　　7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

　　8. 直線度大范圍：500um

　　9. 垂直度精度：1角秒

　　10. 溫度精度：0.2攝氏度

　　11.濕度精度：5%

12.壓力精度：1mmHg

主要特點：

　　1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角

　　2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器

　　3. 可選的無線遙控傳感器長的控制距離可到25米

　　4. 可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性。

　　5. 全套系統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架

6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間