全量程皮拉尼熱陰極復合真空計

全量程皮拉尼熱陰極復合真空計

全量程皮拉尼熱陰極復合真空計

技術參數
參數 數值
測量范圍 1.0×10 -5 ~1.0×10 +5 Pa (空氣， N2)
精度
1.0×10 -5 ~1.0×10 - 4 Pa : ±35%
1.0×10 -4 ~1.0×10 +4 Pa : ±25%
1.0×10 +4 ~1.0×10 +5 Pa : ±50%
重復性
1.0×10 -5 ~1.0×10 +3 Pa : ±5%
1.0×10 +3 ~1.0×10 +5 Pa : ±25%
耐壓 1.5×10 +5 Pa
反應時間 < 100 ms
工作環境 -5o C ~ +45o C； 5 ~ 85 %, 不結露
存儲環境 -40o C ~ +80o C；5 ~ 90 %, 不結露
信號輸出
雙行5位LED顯示，單位可選Pa、Torr、mBar，四路控制開關指示
支持 RS485， 9600 bps，Modbus RTU（標配）
支持四（六）路控制開關輸出 60VDC （選配）
支持模擬量輸出+0.0V~+10.0VDC（選配）
支持離子規燈絲外部禁止（選配）
支持PC電腦上位機VAccuRay 3.0控制軟件數據采集
供電電源
85 ~ 265VAC，50 ~ 60Hz  電源；功耗max 35W；
品字插座（ （EARTH 端 端 子 外部務必可 靠接地！）
重量與尺寸
<1Kg (不含電纜與規管)， 100H X 98W X170L mm 3
安裝開孔尺寸 91 +0.2 mm × 91 +0.2 mm