MF5700系列氣體質量流量計

         矽翔微機電系統有限公司（矽翔公司，Siargo, Ltd. ）成立于2003。公司總部位于美國加州硅谷。矽翔公司是目前世界*生產具有自主知識產權、低功耗、超大量程MEMS氣體流量計并使之產品化的廠商。其核心部件 – MEMS流量芯片及其封裝技術由公司自主研發，可用于各類氣體及微流體的流量計量和測控，為傳統的流體的計量帶來了根本的變革，提供了全新的拓展空間。
         目前，矽翔公司專門為適用于中、小型企業和商業燃氣計量開發的流量計已通過了國家本質安全型式認證和計量器具生產許可，并已經在四川、重慶、湖北、湖南等多地區使用。由于產品為全電子式，采用標準體積（質量）計量，具有超大量程、高精度、無可動部件、強大數據存儲功能、壓力損耗小、易于數據遠傳和網絡化等特點，從根本上改變了傳統機械儀表的計量方式，在小流量計量能力上大大提高，使有效實施天然氣的能源管理、實時監控和資源合理調配成為了可能。矽翔公司基于MEMS 技術的流量芯片除在天然氣計量中的應用外，還廣泛應用于醫療麻醉與呼吸設備；工業制造業用氣體測量及過程控制，環保等多個領域，目前，產品已銷售到美國、歐洲、南美、亞洲等多個國家。在醫院中心供氧、制氧設備，分床計費系統；食品加工；科學氣體分析儀器；樓宇自控；民用健身、保健設備等領域也有廣泛的應用。在全新的移動燃料電池等*科技領域亦有不可替代的應用。
         矽翔公司是GB/T 20727-2006《熱式質量流量計》起草單位之一。