產品名稱:微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢測干涉儀 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
產品型號:ZLM800 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
產品產地:德國 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
制 造 商:德國耶拿爾測量技術有限公司 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
詳細介紹: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀,主要用于微位移部件的測量,角度變化量的監測,移動平臺運動情況的檢測,及光刻機幾何量的測量,數控機床幾何量的測量,zui多可實現六軸聯動。具有以下性能優勢: l 真正意義上的雙頻激光干涉儀,兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區別。德國耶拿爾公司是為數不多的雙頻激光干涉儀的制造商,*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。 l 全部部件皆在德國生產制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡,是世界上*一家將*的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。 l 激光器壽命更長,可達20000小時,激光穩頻精度高,一小時內為±0.002ppm,在產品壽命內可達±0.02ppm。 l 干涉鏡采用差分干涉原理,系統精度更高,可達±0.4ppm。 l 計算機輔助光路調整,調整結果更準確。 l 采樣頻率更快,zui高達1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。 l 被測物體zui大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數據處理器,分辨率達0.6nm(當移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達為0.1nm)。 l 無加速度限制;當光線微弱時,性能也十分穩定。 l 信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。 l 對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量,ZLM800型是理想的選擇。 技術參數
應用案例 以下是為*設計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應用案例。在*個案例中,用兩個3軸角度干涉儀分別監視兩個擺鏡的擺動,實時測試兩個擺鏡對應量(俯仰、偏擺和位移)的差異情況。在第二個案例中,用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況,2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。 以下是為國內某研究所某項目設計的ZLM800測量系統。用戶預先把被測物體放置在密閉箱中,密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數據是被監視目標Ⅰ、被監視目標Ⅱ的X、Y向的角度變化量,以及這兩個目標在Z方向的相對變化量。 ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖 |
上海貝丁漢工業自動化設備有限公司——主要從事各種進口儀器儀表、機械設備、電子產品及其配件等的銷售和技術服務工作。 為美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理,德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經營的主要產品包括激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統、雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡相位調諧儀,及瑞士Soclair Electronic公司PT-100溫度變送器、熱電偶溫度變送器、高精度電壓信號轉換器、高精度電流信號轉換器、橋路信號轉換器、頻率變送器、模擬信號轉頻率模塊等。
本公司的激光儀器主要為激光準直、對中、校正和系統檢測。功能包括各種機械設備和部件的平面度檢測、直線度檢測、平行度檢測、垂直度檢測、孔的同軸度檢測、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯軸器和電機軸的對中校正檢測等。廣泛應用于機床加工中心幾何量檢測、航空航天設備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業標線和艉軸管檢測、汽車發動機同軸度、電廠汽輪機隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設備輥軸的平行度的檢測,及機床的定位、補償和運動平臺的微位移檢測等。
信號轉換器類儀表用于將各種重量、溫度、壓力、電壓、電流和頻率等信號轉換為標準的工業控制信號,用于系統的集成和控制。廣泛應用于機械和設備工程、汽車、倉儲、輸送、印刷、門控、化工、冶金、石油、電力、水利、鋼鐵、輕工、制藥、造紙、制革、噴涂、水泥、玻璃、食品、陶瓷、化纖、塑料、飼料、煤炭、紡織、農業和包裝等行業。歡迎您選購我們代理經銷的各種產品,我們將以飽滿的熱情,周到的服務,客戶*的原則,為您提供滿意的產品和服務。