氣體傳感器的研究及發展方向－福貴自控行業漫談

氣體傳感器是氣體檢測系統的核心，通常安裝在探測頭內。從本質上講，氣體傳感器是一種將某種氣體體積分數轉化成對應電信號的轉換器。探測頭通過氣體傳感器對氣體樣品進行調理，通常包括濾除雜質和干擾氣體、干燥或制冷處理、樣品抽吸，甚至對樣品進行化學處理，以便化學傳感器進行更快速的測量。  

　　氣體的采樣方法直接影響傳感器的響應時間。目前，氣體的采樣方式主要是通過簡單擴散法，或是將氣體吸入檢測器。  

　　簡單擴散是利用氣體自然向四處傳播的特性。目標氣體穿過探頭內的傳感器，產生一個正比于氣體體積分數的信號。由于擴散過程漸趨減慢，所以擴散法需要探頭的位置非常接近于測量點。擴散法的一個優點是將氣體樣本直接引入傳感器而無需物理和化學變換。樣品吸入式探頭通常用于采樣位置接近處理儀器或排氣管道。這種技術可以為傳感器提供一種速度可控的穩定氣流，所以在氣流大小和流速經常變化的情況下，這種方法較值得*。將測量點的氣體樣本引到測量探頭可能經過一段距離，距離的長短主要是根據傳感器的設計，但采樣線較長會加大測量滯后時間，該時間是采樣線長度和氣體從泄漏點到傳感器之間流動速度的函數。對于某種目標氣體和汽化物，如SiH4以及大多數生物溶劑，氣體和汽化物樣品量可能會因為其吸附作用甚至凝結在采樣管壁上而減少。  

　　氣體傳感器是化學傳感器的一大門類。從工作原理、特性分析到測量技術，從所用材料到制造工藝，從檢測對象到應用領域，都可以構成獨立的分類標準，衍生出一個個紛繁龐雜的分類體系，尤其在分類標準的問題上目前還沒有統一，要對其進行嚴格的系統分類難度頗大。  

　　1 主要特性  

　　1.1 穩定性  

　　穩定性是指傳感器在整個工作時間內基本響應的穩定性，取決于零點漂移和區間漂移。零點漂移是指在沒有目標氣體時，整個工作時間內傳感器輸出響應的變化。區間漂移是指傳感器連續置于目標氣體中的輸出響應變化，表現為傳感器輸出信號在工作時間內的降低。理想情況下，一個傳感器在連續工作條件下，每年零點漂移小于10%。  

　　1.2  靈敏度  

　　靈敏度是指傳感器輸出變化量與被測輸入變化量之比，主要依賴于傳感器結構所使用的技術。大多數氣體傳感器的設計原理都采用生物化學、電化學、物理和光學。首先要考慮的是選擇一種敏感技術，它對目標氣體的閥限制(TLV-thresh-old limit ＆#118alue)或zui低爆炸限(LEL-lower explosive limit)的百分比的檢測要有足夠的靈敏性。  

　　1.3選擇性  

　　選擇性也被稱為交叉靈敏度。可以通過測量由某一種濃度的干擾氣體所產生的傳感器響應來確定。這個響應等價于一定濃度的目標氣體所產生的傳感器響應。這種特性在追蹤多種氣體的應用中是非常重要的，因為交叉靈敏度會降低測量的重復性和可靠性，理想傳感器應具有高靈敏度和高選擇性。  

　　1.4抗腐蝕性  

　　抗腐蝕性是指傳感器暴露于高體積分數目標氣體中的能力。在氣體大量泄漏時，探頭應能夠承受期望氣體體積分數10~20倍。在返回正常工作條件下，傳感器漂移和零點校正值應盡可能小。  

　　氣體傳感器的基本特征，即靈敏度、選擇性以及穩定性等，主要通過材料的選擇來確定。選擇適當的材料和開發新材料，使氣體傳感器的敏感特性達到*。  

　　2  主要原理及分類  

　　通常以氣敏特性來分類，主要可分為：半導體型氣體傳感器、電化學型氣體傳感器、固體電解質氣體傳感器、接觸燃燒式氣體傳感器、光化學型氣體傳感器、高分子氣體傳感器等。  

　　2.1  半導體氣體傳感器  

　　半導體氣體傳感器是采用金屬氧化物或金屬半導體氧化物材料做成的元件，與氣體相互作用時產生表面吸附或反應，引起以載流子運動為特征的電導率或伏安特性或表面電位變化。這些都是由材料的半導體性質決定的。  

　　自從1962年半導體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器問世以來，半導體氣體傳感器已經成為當前應用zui普遍、有實用價值的一類氣體傳感器，根據其氣敏機制可以分為電阻式和非電阻式兩種。  

　　電阻式半導體氣體傳感器主要是指半導體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器，是一種用金屬氧化物薄膜(例如：Sn02，ZnO Fe203，Ti02等)制成的阻抗器件，其電阻隨著氣體含量不同而變化。氣味分子在薄膜表面進行還原反應以引起傳感器傳導率的變化。為了消除氣味分子還必須發生一次氧化反應。傳感器內的加熱器有助于氧化反應進程。它具有成本低廉、制造簡單、靈敏度高、響應速度快、壽命長、對濕度敏感低和電路簡單等優點。不足之處是必須工作于高溫下、對氣味或氣體的選擇性差、元件參數分散、穩定性不夠理想、功率要求高.當探測氣體中混有硫化物時，容易中毒。現在除了傳統的SnO，Sn02和Fe203三大類外，又研究開發了一批新型材料，包括單一金屬氧化物材料、復合金屬氧化物材料以及混合金屬氧化物材料。這些新型材料的研究和開發，大大提高了氣體傳感器的特性和應用范圍。另外，通過在半導體內添加Pt，Pd，Ir等貴金屬能有效地提高元件的靈敏度和響應時間。它能降低被測氣體的化學吸附的活化能，因而可以提高其靈敏度和加快反應速度。催化劑不同，導致有利于不同的吸附試樣，從而具有選擇性。例如各種貴金屬對Sn02基半導體氣敏材料摻雜，Pt，Pd，Au提高對CH4的靈敏度，Ir降低對CH4的靈敏度；Pt，Au提高對H2的靈敏度，而Pd降低對H2的靈敏度。利用薄膜技術、超粒子薄膜技術制造的金屬氧化物氣體傳感器具有靈敏度高(可達10-9級)、一致性好、小型化、易集成等特點。