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深圳市三恩時科技有限公司
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名稱:大尺寸光罩 材料:SodaLimeGlass、Quartz 規格:1100mm×1100mm~406.4mmx457.2mm 應用:PCB行業、平板顯示行業主要應用領域: 主要應用于LCD、TFT、CF、TouchPanel、OLED、PDP等平板顯示行業;HDI、FPC等PCB行業
精度 / 級別 Items / Class | 精度 Grade 1 | 高精度 Grade 2 | 中精度 Grade 3 | 一般精度 Grade 4 |
最小線寬/線縫 Min.Line/Space Width | 1.0μm/1.0μm | 5μm/5μm | 10μm/10μm | 20μm/20μm |
線條精度 CD Control | ±0.15μm (QZ) | ±0.5μm | ±1.0μm | ±2.0μm |
總長精度 Total Pitch Accuracy | ±0.5μm(QZ) | ±1.0μm | ±2.0μm | ±2.0μm |
圖形位置精度 Registration Accuracy | ±0.5μm(QZ) | ±1.0μm | ±2.0μm | ±3.0μm |
套合精度 Overlay Accuracy | ±0.5μm(QZ) | ±1.0μm | ±2.0μm | ±3.0μm |
垂直精度 Orthogonality | ±0.75μrad | ±2.0μrad | ±3.0μrad | ±4.0μrad |
材料 Material | Soda Lime Glass、Quartz |
尺寸Max. Size | 1100mm×1100mm |
常規尺寸Normal Size | 406.4mmx457.2mm,420mmx520mm,450mmx550mm,580mmx609.6mm, 609.6mmx711.2mm,620mmx720mm,700mmx800mm,800mmx960mm |
厚度 Thickness | 2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm 5.0±0.2mm (QZ),8.0±0.2mm (QZ) |
鉻膜 Film Type | Low Reflectance Chrome |
光學密度Optical Density(λ=450nm) | Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3 |
反射率Reflectivity(λ=436nm) | Between Plates10±5% In Plate±2% |
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