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詳細(xì)介紹
| 產(chǎn)品系列特性 輸入壓力 輸出壓力 | 允許內(nèi)泄露 | 流量系數(shù) | ||||
| 15系列高純度，超高流量 | | | | | ||
| ·無(wú)內(nèi)螺紋 | 300PSIG | 130PSIG | <1×10-9 | 11300SLPM | 316L不銹鋼 | |
| 15系列 | ·10Ra微英寸拋光 | | （400SCFM） | |||
| ·彈簧負(fù)載：Cv=8 | | 28,300SLPM | ||||
| ·低于氣室負(fù)載：Cv=20 | （1000SCFM） | |||||
| *單位為大氣壓·毫升/秒氦氣 | ||||||
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