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南昌幸和工業技術有限公司
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產品介紹
詳情介紹：
產品詳情
它是在減壓室中在減壓下施加抗蝕劑后干燥玻璃基板的設備。
“VD-500CT"是減壓室，在減壓下施加抗蝕劑后干燥玻璃基板。
此外，該裝置是可以在真空干燥過程中測量基板表面溫度并用相機觀察基板表面的系統。
【主要規格】
○ 腔室：尺寸 550mm × 600mm 高度 75mm（蓋上蓋時）
○ 加熱板：480 × 400mm 鋁制，MAX 150 ℃ ± 3 ℃（100 ℃時）
○ 真空度： 極限真空度約 5Pa 空氣冷卻 使用干式真空泵
產品規格
○ 腔室：尺寸 550mm × 600mm 高度 75mm（蓋子關閉時）
○ 加熱板：480 × 400mm 鋁制，MAX 150 ℃ ± 3 ℃（100 ℃時）
○ 真空：極限真空度約
○ 溫度測量：IR 輻射使用溫度計 測量精度±3℃
○照相機觀察：變焦式單筒×0.6～×4.5 1/3"CCD彩色照相機
○實用性：3Φ AC200：N2 100L/min以上：空氣0.5MPa
○外形尺寸：（W） 1150 × (L) 1000mm × (H) 770mm * 因規格而異
○ 相機、IR 等是可選
的 * 以上項目可根據所需規格更改
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