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南昌幸和工業技術有限公司
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產品介紹
詳情介紹：
產品詳情
“VD-400"是減壓室，在減壓下施加抗蝕劑后干燥玻璃基板。
采用蝶閥可設定真空排氣量。
采用蝶閥可設定真空排氣量。
【主要規格】
○ 腔室：外形尺寸 400 mm x 400 mm 高度 103 mm（蓋子關閉時）
內部尺寸 350 mm x 350 mm 高度 30 mm
○ 真空系統：極限真空度1Pa以下（無樣品）
干泵250L/S
產品規格
○ 腔室：外形尺寸 400 mm x 400 mm 高度 103 mm（蓋子關閉時）
內部尺寸 350 mm x 350 mm 高度 30 mm
○ 真空系統：達到真空度1Pa以下（無樣品）
干泵250L/S
○ 減壓方式：壓力模式 達到設定壓力時自動釋放到大氣中
時間模式 設定時間 減壓時自動釋放
○ 實用：3ΦAC200：干燥空氣 0.4 至 0.6MPa：真空排氣
○ 外形尺寸：（W）1000×（L）800mm×（H）1600mm
○ 實用：3ΦAC200：干燥空氣 0.4 至 0.6MPa：真空排氣
○ 外形尺寸：（W）1000×（L）800mm×（H）1600mm
○ 設備重量：約250Kg
* 以上項目可根據所需規格進行更改。
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