1、X、Y坐標:測量范圍X-200mm、Y-100mm,分度值0.001mm 2、瞄準顯微鏡:升降行程120mm,立臂傾斜范圍左右各15°(分度值10'),照明光闌調節范圍Φ3mm-Φ32 mm(分度值1mm) 3、測角目鏡:角度測量范圍360°,分度值1' 4、輪廓目鏡:角度測量范圍±7°,分度值10',圓弧分劃板曲率半徑0.1mm-100mm,螺紋分劃板普通螺紋螺距 0.25mm-6mm、梯形螺紋螺距2mm-20mm 5、光學分度臺:測量范圍360°,分度值1' 6、光學定位器:測頭直徑Φ3mm±0.1mm(實際直徑的極限檢定誤差不大于0.0005mm),測量力8g-14g,測量深度15mm 7、玻璃工作臺:215mm×130mm 8、頂針架:夾持直徑Φ100mm,夾持長度當被測件直徑≤55mm時為750mm,當被測件直徑>55mm時為600mm 9、V型架:左V型架調節范圍前后各5mm,右V型架調節范圍向上15mm、向下3mm 10、承載量:40kg 11、物鏡:1×、3×、5× 12、測角或輪廓目鏡:總放大倍數10×、30×、50×,物方視場Φ20mm、Φ6.6mm、Φ4mm,工作距離81mm、90mm、65mm 13、雙像目鏡:總放大倍數15×、42×、65×,物方視場Φ13mm、Φ4.7mm、Φ3mm,工作距離47mm、85mm、63mm 14、溫度要求:工作室溫度為20℃±2℃,溫度變化每小時不超過1℃,被測量件和本機溫差不超過0.5℃ 15、XY坐標精度:用玻璃毫米級分劃尺檢定時不準確度(1+L/100)µm,L為測量長度,單位為mm,分劃尺按修正表修正時,X不大于0.0025mm,Y不大于0.0015mm 16、測角目鏡精度:測量角度不確定度不大于1' 17、雙像目鏡精度:合像不穩定性不大于0.0005mm,不正確性不大于0.001mm 18、光學分度頭精度:不準確度不大于1' 19、光學分度臺精度:不準確度不大于30″ 20、光學定位器精度:測量的不穩定性不大于0.001mm,不準確度不大于0.0015mm |