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VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品簡介

VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀

詳細介紹

產品簡介：VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀是新自主研制開發的鍍膜設備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀配置三個靶槍，一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜，兩個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜。與同類設備相比，其不僅應用廣泛，且具有體積小便于操作的優點，是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備，特別適用于實驗室研究固態電解質及OLED等。

產品名稱	VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀
產品型號	VTC-600-3HD
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）及減壓閥 4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風裝置：需要
主要特點	1、配置三個靶槍，一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜，兩個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據客戶需要任意調換）。 2、可制備多種薄膜，應用廣泛。 3、體積小，操作簡便。 4、整機模塊化設計，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設計，可根據用戶實際需要調整。 5、可根據用戶實際需要選擇電源，可以一個電源控制多個靶槍，也可多個電源單一控制靶槍。
技術參數	1、電源電壓：220V 50Hz 2、總功率：＜2.5KW 3、極限真空度：< E-6mbar（配合本公司設備使用可達到 E-5mbar） 4、工作溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據實際需要提升溫度） 5、靶槍數量：3個 6、靶槍冷卻方式：水冷 7、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材質不同厚度有所不同） 8、直流濺射功率：500W（可選） 9、射頻濺射功率：300W/500W（可選） 10、載樣臺：Ø140mm，可根據客戶需求選配加裝偏壓功能，以實現更高質量的鍍膜。 11、載樣臺轉速：1rpm-20rpm內可調 12、保護氣體：Ar、N₂等惰性氣體 13、進氣氣路：質量流量計控制2路進氣，1個流量為100 SCCM，1個流量為200 SCCM
產品規格	主機尺寸：500mm×560mm×660mm，整機尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg
標準配件	1	直流電源控制系統	2套
	2	射頻電源控制系統	1套
	3	膜厚監測儀系統	1套
	4	分子泵（德國進口）	1臺
	5	冷水機	1臺
	6	冷卻水管（Ø6mm）	4根
可選配件	金、銦、銀、鉑等各種靶材掩膜版振動樣品臺