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沈陽科晶自動化設備有限公司
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GSL-1800X-ZF2蒸發鍍膜儀
產品簡介:GSL-1800X-ZF2蒸發鍍膜儀主要應用于大專院校、科研機構、企業實驗室及進行微小產品真空鍍膜工藝研究、樣板試制、操作培訓和生產的單位。GSL-1800X-ZF2蒸發鍍膜儀在蒸發鍍膜過程中樣品臺可以進行旋轉,使蒸發的薄膜材料在樣品表面均勻分布。配有兩組蒸發單元,一個鎢舟,一個鎢絲籃;鎢舟中可以放粉末狀的薄膜材料,鎢絲籃中可以放條狀或塊狀薄膜材料。控制屏采用7英寸TFT顯示屏顯示操作界面,TFT式顯示器具有高響應度、高亮度、高對比度等優點,觸屏操作,實現全圖形化界面,易用易懂。GSL-1800X-ZF2蒸發鍍膜儀使高真空的蒸發鍍膜設備,真空度可達3.0×10-4torr。
產品型號 | GSL-1800X-ZF2蒸發鍍膜儀 |
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 2、工作臺:落地式,占地面積2m2以上 3、通風裝置:需要 |
主要特點 | 1、采用桌面小型一體化結構,將真空腔體、鍍膜電源及控制系統進行整合設計,體積與一臺A3打印機相仿。 2、采用電阻式雙蒸發源結構,可快速實現蒸發源的轉換。蒸發單元中裝有兩組蒸發電極可安裝不同的蒸發源,適應相應的鍍膜材料。 3、配有0.1%精度蒸發電源,并具有恒流輸出功能,對蒸發舟能起到很好的保護作用。 4、可選配石英晶體膜厚控制儀,在鍍膜過程中對鍍膜速率和膜層厚度進行控制。 5、可將采集到的鍍膜數據保存到U盤,便于用戶分析控制(選配)。 6、本機將所有功能設計成標準化模塊,根據用戶不同的需求對相應模塊進行組合,以達到化的鍍膜環境,并便于用戶維修與維護。 7、操作控制采用7英寸TFT顯示屏顯示操作界面,觸屏操作,實現全圖形化界面,易用易懂。 |
技術參數 | 1、電源:AC220V 1500W 2、蒸發電源功率:1000W 5V 200A 3、蒸發電極有效距離:44mm 4、樣品臺:Ø120mm(可旋轉) 5、膜厚測量精度:0.1Å或0.01Å(可選配高精度型) 6、外接真空機組:擴散泵機組(可選配國產110機組或進口機組)(不建議使用擴散泵) 7、極限真空度:>3.0×10-3torr(擴散泵)、3.0×10-4torr(分子泵)(不建議使用擴散泵) 8、工作真空度:5.0×10-3torr 9、真空接口:KF40 10、使用環境:溫度35℃,濕度<75%(相對濕度)不結露,海拔<1500m |
產品規格 | 尺寸:440mm×240mm×260mm(不包括真空機組);重量:約47kg(不包括真空泵) |
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