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SKCC-DHHY-X高真空多弧濺射弧源
產品簡介:SKCC-DHHY-X高真空多弧濺射弧源適用靶材種類較廣,如金屬靶材如Ti,Zr等配裝多弧弧源上,可生成以保證蒸鍍的效率和均勻性。
產品型號 | SKCC-DHHY-X(高真空多弧濺射弧源) |
產品規格 | SKCC-DHHY-X X代表靶面直徑:φ50~φ100(mm)可選; |
主要特點 | 1、引弧安全、可靠; 2、工作弧光穩定,鍍膜效率高; 3、多個弧源共同工作,有利于提高鍍膜效率和成膜質量; 4、用我司的弧源配合弧源電源匹配性能更好; |
配套電源 | 多弧弧源電源 |
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