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沈陽科晶自動化設備有限公司
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精密液體氣相發生器
產品簡介：精密液體氣相發生器是針對實驗室CVD實驗中導入液體的系統，其液體流量是通過數字液體泵來控制，流量為80ml/min，精確度為0.005ml。液體被蠕動泵導入到混氣系統后，被系統里的加熱裝置加熱成蒸汽，然后隨導入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠導出多種液體，如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn（C2H5）2，以及多種有機物混合。對于研究用CVD方法生長納米線和薄膜是的研究設備。
精密液體氣相發生器操作視頻
| 產品型號 | 精密液體氣相發生器 |
| 主要特點 | 1、流體和氣體在一個316不銹鋼罐中加熱。 2、采用30段程序化控溫。 3、氣體流速通過浮子流量計控制。 4、配有壓力表，可測出液氣混合罐中的氣體壓強。 5、配有兩個不銹鋼針閥，以控制氣體進出。 6、可與本司所有管式爐和CVD系統相連接。 7、已通過CE認證。 |
| 技術參數 | 1、電源：單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率：1000W 3、蠕動泵：精確度±0.02%FS，流量0-80ml/min（可調） 4、工作溫度：300℃ 5、控溫精度：±1℃ 6、浮子流量計：0-2000ml/min（可調） 7、出氣口：外徑1/4″ |
| 產品規格 | 尺寸：350mm×335mm×300mm；重量：5kg |
| 可選配件 | 加熱帶（纏繞在外接的管道上，以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。） |
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