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沈陽科晶自動化設備有限公司
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DX-7系列晶棒及晶片角度測量儀
產品簡介：DX-7系晶棒及晶片角度測量儀是雙側工作臺，可同時進行操作，用于對晶棒及晶片的角度進行測量。
DX-7系列晶棒、晶片角度測量儀參數對比表
| 型 號 | DX-7B | DX-7BG | ||||||||||||||||||||||||
| 主要特點 | 設備構造：設備分為落地式一體機。 外型尺寸：1132（長）×642（寬）×1200（高）mm。
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| 設備精度 | 設備綜合精度為±30″ （以供方提供的標準石英片10ī1面測量） | 設備綜合精度為±15″ （以供方提供的標準石英片10ī1面測量） | ||||||||||||||||||||||||
| 最小讀數 | 10″ | |||||||||||||||||||||||||
| 儀器配置 | DX-7B和DX-7BG型X射線單晶定向儀由機臺、管套及各種機械附件組成的機械部分；由穩壓器、控制器、高壓變壓器、放大器、計數器、風冷電機、X射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構成。 | |||||||||||||||||||||||||
| 技術指標 | （1）X射線發生器部分： X射線管：銅靶，風扇冷卻，陽極接地。 管電壓：30KVP，全壓合閘。 管電流：0—5mA 連續可調，使用2.0mA以上，有可能損壞X光管并加大輻射危害。 （2）輸入電源：單相交流220V，50Hz，整機總耗電功率不大于0.3 KW 。 （3）角度測量范圍： 2θ角：－10～+110° θ角:-5～+55°。 | |||||||||||||||||||||||||
| 衍射方式 | 單衍射 | 雙衍射 | ||||||||||||||||||||||||
| 放大系統 | 傳統放大器 | 新型放大器 | ||||||||||||||||||||||||
| 接收系統 | 計數管計數率為104/秒 | 計數管計數率為108/秒 （是普通系列的1萬倍） | ||||||||||||||||||||||||
| 接收器壽命 | 1年 | 3年以上 | ||||||||||||||||||||||||
| X光管壽命 | 按照國家標準400小時 （X光管可以使用3-4個月） | 是正常使用狀況下的2-3倍 （X光管至少可以使用一年） | ||||||||||||||||||||||||
| X管電流強度 | 1-1.5mA | 0.5-1.0mA | ||||||||||||||||||||||||
| 測量和使用效果 | X光管使用2-3個月有可能出現多個假峰，影響準確度。需要經常更換X光管，影響生產效率。 | 可以濾掉X光管的雜峰，不存在假峰現象。X光管可以使用1年左右，不需要頻繁調整機器。 | ||||||||||||||||||||||||
| 精度 | 精度±30秒（或±0.008度） | 精度±15秒（或±0.004度） | ||||||||||||||||||||||||
| 輻射 | 測量時使用 mA量越來越大，射線輻射量較大。 | 測量時使用 mA量小，射線輻射量較小。 | ||||||||||||||||||||||||
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