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沈陽科晶自動化設備有限公司
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SKCC-YCB-X高真空磁控濺射永磁靶頭
產品簡介：SKCC-YCB-X高真空磁控濺射永磁靶頭適用靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環形永磁體在靶頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。可與DC或RF電源配合使用。
| 產品型號 | SKCC-YCB-X（高真空磁控濺射永磁靶頭） |
| 產品規格 | 2寸，SKCC-YCB-2 3寸，SKCC-YCB-3 4寸，SKCC-YCB-4 5寸，SKCC-YCB-5 6寸，SKCC-YCB-6 7寸，SKCC-YCB-7 |
| 主要特點 | 1、采用高質量的不銹鋼和永磁材料制作。 2、采用電磁場的有元計算法來設計永磁體，以得到較高的磁場強度和均勻分布。 3、的磁性材料冷卻裝置結構設計，避免冷卻水腐蝕磁性材料，延長其使用壽命。 4、標準的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配。 5、安裝采用標準真空接頭，便于操作。 6、靶材更換較為簡單，無需調整濺射頭的高度。 |
| 配套電源 | 1、直流DC；2、射頻RF |
| 備注 | 2寸折靶，SKCC-YCB-2-Z 3寸折靶，SKCC-YCB-3-Z 4寸折靶，SKCC-YCB-4-Z |
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