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沈陽科晶自動化設備有限公司
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大口徑管式真空氣氛爐GSL-1100X
產品簡介:大口徑管式真空氣氛爐GSL-1100X采用高純石英管,外徑規格有6″、8″、8.5″、11″可選,并配有不銹鋼法蘭,可進行抽真空或通入其他氣氛氣體操作,主要用于大尺寸樣品燒結的需求。
產品型號 | 大口徑管式真空氣氛爐GSL-1100X | ||
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:如作為CVD系統使用,需自備氣源(標準帶有寶塔接頭,可自費改制成為雙卡套接頭) 4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上 5、通風裝置:需要 | ||
主要特點 | 1、石英管外徑為6″、8″、8.5″、11″ 2、采用PID控制器,可以設置51段控溫程序。 3、控溫精度高,保溫效果好,溫度范圍大,爐膛溫度均勻性高,可通氣氛抽真空。 4、安全可靠,操作簡單。 | ||
技術參數 | 1、電源:AC 380V 50/60Hz 5KW 2、石英管:Ø152mm×1000mm,Ø203mm×1000mm,Ø216mm×1000mm,Ø280mm×1000mm 3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁 4、加熱區域:900mm 5、溫區:3個,各300mm長 6、溫度;1100℃ 7、工作溫度:1000℃ 8、升溫速率:20℃/min 9、推薦升溫速率:10℃/min 10、控溫精度:±1℃ 11、控溫段數:51段 | ||
產品規格 | 尺寸:1300mm×650mm×1050mm;重量:150kg | ||
標準配件 | 1 | 石英管 | 1根 |
2 | 管堵 | 4個 | |
3 | 坩堝鉗 | 1把 | |
4 | 熱電偶 | 1根 | |
5 | 真空法蘭 | 1套 | |
6 | 高溫手套 | 1雙 | |
可選配件 | 1、石英管 2、氧化鋁坩堝 3、石英坩堝 4、真空泵 |
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