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上海首立實業有限公司
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Auto 色新型相調制橢圓偏振光譜儀
產品介紹
概要
Auto 色是一種新型的按鍵式全自動薄膜測量分析工具，簡單的幾個按鍵操作，即可完成全自動測量和分析。
幾秒鐘可完成樣品分析，并提供完整的樣品堆疊特性報告-包括薄膜厚度、光學常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性。
Auto 色 是一種高性能系統，它包括XYZ自動樣品臺、測量點實時成像和光斑尺寸自動選擇功能，其各種各樣的附件可滿足用戶對多種應用的需求。
Auto 色借助完整的操作向導，自動檢測并診斷問題、同時提供完整的操作指南，實現對故障進行輕松處理。
便捷的操作性能和大量自動化特性，使得 Auto 色 成為一種可用于常規薄膜測量和質量控制的設備。
特征
Auto 色的可視化系統
Auto 色 集成了*的MyAutoView光斑可視系統（技術），該系統配備在標準橢圓偏振光譜儀中。
MyAutoView允許操作者全程觀測樣品光斑，以確保各種類型的樣品都能在正確的位置，以合適的光斑尺寸進行測量。
Auto 色 所提供的圖像有大約1毫米的視場和10微米的分辨率,這對于大多數測量來說是非常必要的。
樣品類型 | MyAutoView光斑可視系統的優點 | 舉例 |
圖形化樣品 | 對圖形區域上的測量光斑直接觀測. |
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玷污樣品 | 直接觀測樣品上的測量光斑，以便選擇合適測量位置. |
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透明樣品 | -只有前反射時，直接選擇 |
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粗燥樣品或不均勻表面的樣品 （有條紋、瑕疵） | 直接觀測樣品的測量光斑，以便選擇合適測量點. |
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微結構樣品 | 直接觀測樣品上能夠表示0.8mm的細線特征的測量光斑. |
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圓柱狀或球形的樣品 | 直接觀測在這種區域上用于光斑定位的平面。右圖顯示，光斑大小沒有被優化到適合橢圓偏振的測量. |
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放在液體池、控溫臺等附件里的樣品 | 對于放在液體池里的樣品，測量定位變得非常容易（圖示樣品）. |
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技術參數：
光譜范圍：440-858nm
光斑尺寸： 500 µm x 750 µm; 500 µm x 500 µm; 250 µm x 500 µm; 250 µm x 250 µm; 70 µm x 250 µm; 100 µm x 100 µm; 50 µm x 60 µm; 25 µm x 60 µm
測試時間：通常為5秒，可小于1秒
準確度：NIST 1000 Å SiO2 /Si: d ± 4 Å - n（632.8 nm） ± 0.002， Fu色d silica: n ± 0.004
觀測樣品： CCD-視場范圍1.33*1mm，分辨率1µm
重復性：± 0.2 Å （測試條件 NIST 150 Å SiO2 /Si ）
樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動調節；真空檢測；Z軸高度50mm
探測器：CCD-分辨率：2nm
測角儀：固定在70度，可預設為66度或者61.5度
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