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廣州市固潤光電科技有限公司
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橢圓偏振法測量當線性偏振光照射到樣品時反射光（橢圓偏振）時偏振的變化。 當s和p波根據樣本分別改變其相位和反射幅度時，可以獲得量化偏振變化的幅度比“tanψ"和相位差“cosΔ"。 tanψ，cosΔ稱為“橢圓參數"，其光譜通過“光譜橢偏儀"進行測量。Otsuka FE-5000/5000S膜厚測量儀除了基本的光譜橢圓儀系統外，自動角度調節機構還可以針對各種厚度進行高精度的膜厚測量。 可拆卸的緩速......
嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀 產品描述：
嵌入式膜厚儀-橢偏儀-膜厚測量儀-橢圓偏振光譜儀 是測量當線性偏振光照射到樣品時反射光（橢圓偏振）時偏振的變化。當s和p波根據樣本分別改變其相位和反射幅度時，可以獲得量化偏振變化的幅度比“tanψ"和相位差“cosΔ"。 tanψ，cosΔ稱為“橢圓參數"，其光譜通過“光譜橢偏儀"進行測量。Otsuka FE-5000/5000S膜厚測量儀除了基本的光譜橢圓儀系統外，自動角度調節機構還可以針對各種厚度進行高精度的膜厚測量。 可拆卸的緩速器和旋轉分析儀還拓寬了可供測量的選擇范圍，并提高了測量精度。測量范圍包括：橢圓參數（tanψ，cosΔ），光學常數分析（和：折射率，k：消光系數），厚度分析。
產品亮點：
應用范圍：
技術參數：
測量案例：
使用梯度模型進行ITO結構分析—應用FE0006。ITO（銦錫氧化物）是用于LCD顯示器等平面顯示器的透明電極材料。 ITO的成膜后，通過退火處理（熱處理），可以提高ITO的導電性和色相。 那時，ITO的氧狀態和結晶狀態將發生變化。 該變化趨于相對于膜厚度逐步獲得斜率變化，并且它不會變成光學組成均一的單層。 我們想介紹一種使用梯度模型來測量上下表面nk的傾斜度的情況。
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